Die drei wichtigsten Indikatoren für die Auswahl von Halbleitergraphit

Die Halbleiterindustrie ist ein aufstrebender Wissenschafts- und Technologiezweig, der in den letzten Jahren große Aufmerksamkeit erregt hat. Immer mehr Unternehmen drängen in diesen Markt, und Graphit hat sich zu einem unverzichtbaren Werkstoff für die Entwicklung der Halbleiterindustrie entwickelt. Halbleiter benötigen die elektrische Leitfähigkeit von Graphit, denn je höher der Kohlenstoffgehalt, desto besser die Leitfähigkeit. Zu den wichtigsten Kriterien zählen Partikelgröße, Hitzebeständigkeit und Reinheit.

Die Korngröße entspricht verschiedenen Maschenzahlen, und Spezifikationen werden in Maschenzahlen angegeben. Die Maschenzahl ist die Anzahl der Löcher, d. h. die Anzahl der Löcher pro Quadratzoll. Im Allgemeinen gilt: Maschenzahl * Öffnung (Mikron) = 15.000. Je höher die Maschenzahl von leitfähigem Graphit ist, desto kleiner ist die Partikelgröße und desto besser die Schmierleistung. Daher eignet er sich für die Herstellung von Schmierstoffen. In der Halbleiterindustrie muss die Partikelgröße sehr fein sein, da dies eine präzise Bearbeitung, hohe Druckfestigkeit und geringe Verluste ermöglicht, insbesondere bei Sinterformen, die eine hohe Bearbeitungsgenauigkeit erfordern.

Partikelgrößenverteilung, z. B.: 20 Mesh, 40 Mesh, 80 Mesh, 100 Mesh, 200 Mesh, 320 Mesh, 500 Mesh, 800 Mesh, 1200 Mesh, 2000 Mesh, 3000 Mesh, 5000 Mesh, 8000 Mesh, 12500 Mesh, die feinste Größe kann 15.000 Mesh betragen.

Viele Produkte in der Halbleiterindustrie müssen kontinuierlich erhitzt werden, um die Lebensdauer des Bauteils zu verlängern. Dies erfordert von leitfähigem Graphit folgende Eigenschaften: ausgezeichnete Zuverlässigkeit und hohe Temperaturbeständigkeit.

Die Anforderungen an die Graphitproduktion in der Halbleiterindustrie sind: Je höher die Reinheit, desto besser. Dies gilt insbesondere für Graphitbauteile, die in Kontakt mit dem Halbleitermaterial stehen. Ein zu hoher Anteil an Verunreinigungen kann dieses verunreinigen. Daher ist eine strenge Kontrolle der Reinheit von leitfähigem Graphit unerlässlich. Zusätzlich muss eine Hochtemperaturgraphitisierung durchgeführt werden, um den Grauwert zu minimieren.