Der innere Aufbau der Ofenrohrausrüstung wird ausführlich erläutert

Wie oben gezeigt, ist ein typisches

Die erste Hälfte:

▪ Heizelement (Heizspirale):

um das Ofenrohr herum angeordnet, meist aus Widerstandsdrähten, die zur Beheizung des Inneren des Ofenrohrs dienen.

▪ Quarzrohr:

Der Kern eines heißen Oxidationsofens besteht aus hochreinem Quarz, der hohen Temperaturen standhält und chemisch inert bleibt.

▪ Gaseinspeisung:

Es befindet sich oben oder an der Seite des Ofenrohrs und dient dem Transport von Sauerstoff oder anderen Gasen in das Innere des Ofenrohrs.

▪ SS-Flansch:

Komponenten, die Quarzrohre und Gasleitungen verbinden und so die Dichtheit und Stabilität der Verbindung gewährleisten.

▪ Gaszuleitungen:

Rohre, die den MFC zur Gasübertragung mit dem Gasversorgungsanschluss verbinden.

▪ MFC (Massendurchflussregler):

Ein Gerät, das den Gasfluss in einem Quarzrohr steuert, um die benötigte Gasmenge präzise zu regulieren.

▪ Entlüftung:

Wird verwendet, um das Abgas aus dem Inneren des Ofenrohrs zur Außenseite des Geräts zu entlüften.

Unterteil:

▪ Siliziumwafer im Halter:

Siliziumwafer werden in einem speziellen Halter untergebracht, um eine gleichmäßige Hitze während der Oxidation zu gewährleisten.

▪ Waferhalter:

Wird verwendet, um den Siliziumwafer zu halten und sicherzustellen, dass der Siliziumwafer während des Prozesses stabil bleibt.

▪ Sockel:

Eine Struktur, die einen Siliziumwaferhalter hält, normalerweise aus einem hochtemperaturbeständigen Material.

▪ Aufzug:

Wird zum Heben von Waferhaltern in und aus Quarzrohren zum automatischen Be- und Entladen von Siliziumwafern verwendet.

▪ Wafer-Transfer-Roboter:

Es befindet sich an der Seite des Ofenrohrgeräts und dient dazu, den Siliziumwafer automatisch aus der Box zu entnehmen und in das Ofenrohr zu legen oder nach der Bearbeitung zu entfernen.

▪ Kassetten-Aufbewahrungskarussell:

Das Kassettenlagerkarussell dient zur Aufbewahrung einer Kiste mit Siliziumwafern und kann für den Roboterzugriff gedreht werden.

▪ Wafer-Kassette:

Die Waferkassette dient der Lagerung und dem Transport der zu bearbeitenden Siliziumwafer.