PECVD påfyldningsbakke Deponeringsbakke af grafit

PECVD ilægningsbakke Afsætningsbakke med grafit Udvalgt billede

Kort beskrivelse:

VET Energy's PECVD Loading Tray er designet til at give sikker og jævn støtte til wafere under deponering, hvilket forbedrer konsistensen og kvaliteten af depositionsprocessen. Med sin fremragende varmebestandighed hjælper grafitbakken med at opretholde et kontrolleret miljø inde i PECVD-kamrene, hvilket reducerer risikoen for kontaminering og sikrer høj proceseffektivitet.

Send e-mail til os Download som PDF

Produktdetaljer

Produkt Tags

VET Energy PECVD læssebakke er en præcisionsbærer designet til PECVD-processen (plasmaforstærket kemisk dampaflejring). Denne grafitbakke af høj kvalitet er lavet af grafitmateriale med høj renhed og høj tæthed. Det har fremragende højtemperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, dimensionsstabilitet og andre egenskaber. Det kan give en stabil bærerplatform til PECVD-proces og sikre ensartethed og fladhed af filmaflejring.

VET Energy PECVD læssebakker bruges i vid udstrækning inden for halvleder, solcelle, LED og andre områder. For eksempel:

▪ Halvleder: PECVD-proces til halvledermaterialer såsom siliciumwafers og epitaksiale wafers.

▪ Fotovoltaisk: PECVD-proces til solcelle tyndfilm.

▪ LED: PECVD-proces for LED-chips.

Produktfordele

▪Forbedre filmkvalitet:Sikre ensartet filmaflejring og forbedre filmkvaliteten.

▪Forlæng udstyrets levetid:Fremragende korrosionsbestandighed, forlænge levetiden af PECVD-udstyr.

▪Reducer produktionsomkostningerne:Grafitbakker af høj kvalitet kan reducere skrotmængden og reducere produktionsomkostningerne.

Grafitmateriale fra SGL:

Typisk parameter: R6510
Indeks	Test standard	Værdi	Enhed
Gennemsnitlig kornstørrelse	ISO 13320	10	μm
Bulkdensitet	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Åben porøsitet	DIN66133	10	%
Mellem porestørrelse	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitet	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hårdhed HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifik elektrisk resistivitet	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bøjningsstyrke	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Trykstyrke	DIN 51910	130	MPa
Youngs modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termisk udvidelse (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Termisk ledningsevne (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Den er specielt designet til højeffektiv solcellefremstilling, der understøtter G12-waferbehandling i stor størrelse. Optimeret bærerdesign øger gennemløbet markant, hvilket muliggør højere udbytte og lavere produktionsomkostninger.

Punkt	Type	Nummer waferholder
PEVCD Grephite-båd - 156-serien	156-13 grephitbåd	144
	156-19 grephitbåd	216
	156-21 grephitbåd	240
	156-23 grafitbåd	308
PEVCD Grephite-båd - 125-serien	125-15 grephitbåd	196
	125-19 grephitbåd	252
	125-21 grphitbåd	280