Produktegenskaber
· Fremragende høj temperatur præstation
PyC-belægning har træk af tæt struktur, fremragende varmebestandighed, god termisk ledningsevne og slidstyrke. Da begge er kulstofelementer, har den stærk vedhæftning med grafit og kan forsegle resterende flygtige stoffer inde i grafitten for at forhindre forurening fra kulstofpartikler.
· Kontrollerbar renhed
Renheden af PyC-belægningen kan nå et niveau på 5 ppm, hvilket opfylder renhedskravene for spplications med høj renhed.
· Udvidet service liv og forbedret produkt qkvalitet
PyC-belægning kan effektivt forlænge levetiden af grafitkomponenter og forbedre produktkvaliteten og derved effektivt reducere kundens produktionsomkostninger.
·Bred rækkevidde of applikationer
PyC-belægning bruges hovedsageligt i højtemperaturfelter såsom Si/SiC-halvlederkrystalvækst, ionimplantation, metalsmeltning til halvledere og instruentanalyse.
Produkt Specifikationer
Typisk præstation | Enhed | Specifikation |
Krystal struktur | Sekskantet | |
Justering | Orienteret eller ikke-orienteret langs 0001 retning | |
Bulkdensitet | g/cm³ | -2.24 |
Mikrostruktur | Polykrystallinsk/multilagsgrafen | |
Hårdhed | GPa | 1.1 |
Elastikmodul | GPa | 10 |
Typisk tykkelse | μm | 30-100 |
Overfladeruhed | μm | 1.5 |
Produktets renhed | ppm | ≤5 ppm |