Hambwrdd Llwytho PECVD Habwrdd Graffit Dyddodiad

Hambwrdd Llwytho PECVD Dyddodiad Hambwrdd Graffit Delwedd Sylw

Disgrifiad Byr:

Mae Hambwrdd Llwytho PECVD VET Energy wedi'i gynllunio i ddarparu cefnogaeth ddiogel a gwastad i wafferi yn ystod dyddodiad, gan wella cysondeb ac ansawdd y broses ddyddodi. Gyda'i wrthwynebiad gwres rhagorol, mae'r Hambwrdd Graffit yn helpu i gynnal amgylchedd rheoledig y tu mewn i siambrau PECVD, gan leihau'r risg o halogiad a sicrhau effeithlonrwydd proses uchel.

Anfonwch e-bost atom Lawrlwythwch fel PDF

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Mae hambwrdd llwytho VET Energy PECVD yn gludwr manwl gywir sydd wedi'i gynllunio ar gyfer proses PECVD (dyddodiad anwedd cemegol plasma wedi'i wella). Mae'r hambwrdd graffit dyddodiad hwn o ansawdd uchel wedi'i wneud o ddeunydd graffit purdeb uchel, dwysedd uchel. Mae ganddi wrthwynebiad tymheredd uchel rhagorol, ymwrthedd cyrydiad, sefydlogrwydd dimensiwn a nodweddion eraill. Gall ddarparu llwyfan cludwr sefydlog ar gyfer proses PECVD a sicrhau unffurfiaeth a gwastadrwydd dyddodiad ffilm.

Defnyddir hambyrddau llwytho VET Energy PECVD yn eang mewn meysydd lled-ddargludyddion, ffotofoltäig, LED a meysydd eraill. Er enghraifft:

▪ Lled-ddargludydd: proses PECVD ar gyfer deunyddiau lled-ddargludyddion fel wafferi silicon a wafferi epitaxial.

▪ Ffotofoltäig: proses PECVD ar gyfer ffilmiau tenau celloedd solar.

▪ LED: proses PECVD ar gyfer sglodion LED.

Manteision Cynnyrch

▪Gwella ansawdd y ffilm:Sicrhau dyddodiad ffilm unffurf a gwella ansawdd ffilm.

▪Ymestyn oes offer:Gwrthiant cyrydiad rhagorol, ymestyn oes gwasanaeth offer PECVD.

▪Lleihau costau cynhyrchu:Gall hambyrddau graffit o ansawdd uchel leihau cyfradd sgrap a lleihau costau cynhyrchu.

Deunydd graffit o SGL:

Paramedr nodweddiadol: R6510
Mynegai	Safon prawf	Gwerth	Uned
Maint grawn cyfartalog	ISO 13320	10	μm
Dwysedd swmp	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
mandylledd agored	DIN66133	10	%
Maint mandwll canolig	DIN66133	1.8	μm
Athreiddedd	DIN 51935	0.06	cm²/s
Caledwch Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Gwrthedd trydanol penodol	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Cryfder hyblyg	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Cryfder cywasgol	DIN 51910	130	MPa
Modwlws Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Ehangu thermol (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Dargludedd thermol (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Fe'i cynlluniwyd yn benodol ar gyfer gweithgynhyrchu celloedd solar effeithlonrwydd uchel, gan gefnogi prosesu wafferi maint mawr G12. Mae dyluniad cludwyr optimaidd yn cynyddu trwybwn yn sylweddol, gan alluogi cyfraddau cynnyrch uwch a chostau cynhyrchu is.

Eitem	Math	Cludwr afrlladen rhif
Cwch Grephite PEVCD - Y gyfres 156	156-13 cwch grephite	144
	156-19 cwch grephite	216
	156-21 cwch grephite	240
	156-23 cwch graffit	308
Cwch Grephite PEVCD - Y gyfres 125	125-15 cwch grephite	196
	125-19 cwch grephite	252
	125-21 cwch grphite	280