Cefnogaeth Wafer Graffit PECVD

Disgrifiad Byr:

Wedi'i gynllunio ar gyfer manwl gywirdeb a pherfformiad, Cefnogaeth Wafferi Graffit VET Energy yw'r deunydd delfrydol i'w ddefnyddio mewn prosesu wafferi uwch, lle mae sefydlogrwydd thermol uchel a pherfformiad cyson yn hanfodol. P'un a ydych chi'n gweithio gyda wafferi lled-ddargludyddion neu swbstradau cain eraill, bydd y gefnogaeth graffit hon o ansawdd uchel yn gwella dibynadwyedd eich proses ac ansawdd y cynnyrch, gan ei gwneud yn elfen anhepgor ar gyfer gweithgynhyrchu modern.

Anfonwch e-bost atom Lawrlwythwch fel PDF

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

VET Energy proses PECVD cymorth wafferi graffit yw traul craidd a gynlluniwyd ar gyfer PECVD (blasma gwell dyddodiad anwedd cemegol) broses. Mae'r cynnyrch hwn wedi'i wneud o ddeunydd graffit purdeb uchel, dwysedd uchel, gydag ymwrthedd tymheredd uchel rhagorol, ymwrthedd cyrydiad, sefydlogrwydd dimensiwn a nodweddion eraill, a all ddarparu llwyfan cynnal sefydlog ar gyfer proses PECVD, er mwyn sicrhau unffurfiaeth a gwastadrwydd dyddodiad ffilm.

Nid yn unig y gall dyluniad "cymorth graffit" cefnogaeth wafferi graffit VET Energy gefnogi'r wafer yn effeithiol, ond hefyd yn darparu sefydlogrwydd thermol yn yr amgylchedd tymheredd uchel a phwysedd uchel PECVD i sicrhau sefydlogrwydd y broses.

Mae gan gefnogaeth wafferi graffit proses VET Energy PECVD y nodweddion canlynol:

▪Purdeb uchel:cynnwys amhuredd hynod o isel, osgoi halogi'r ffilm, er mwyn sicrhau ansawdd y ffilm.

▪Dwysedd uchel:dwysedd uchel, cryfder mecanyddol uchel, gall wrthsefyll tymheredd uchel a gwasgedd uchel amgylchedd PECVD.

▪Sefydlogrwydd dimensiwn da:newidiadau dimensiwn bach ar dymheredd uchel i sicrhau sefydlogrwydd y broses.

▪Dargludedd thermol ardderchog:trosglwyddo gwres yn effeithiol i atal afrlladen rhag gorboethi.

▪Gwrthiant cyrydiad cryf:Yn gallu gwrthsefyll erydiad gan wahanol nwyon cyrydol a phlasma.

▪Gwasanaeth wedi'i addasu:Gellir addasu tablau cymorth graffit o wahanol feintiau a siapiau yn unol ag anghenion cwsmeriaid.

Deunydd graffit o SGL:

Paramedr nodweddiadol: R6510
Mynegai	Safon prawf	Gwerth	Uned
Maint grawn cyfartalog	ISO 13320	10	μm
Dwysedd swmp	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
mandylledd agored	DIN66133	10	%
Maint mandwll canolig	DIN66133	1.8	μm
Athreiddedd	DIN 51935	0.06	cm²/s
Caledwch Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Gwrthedd trydanol penodol	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Cryfder hyblyg	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Cryfder cywasgol	DIN 51910	130	MPa
Modwlws Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Ehangu thermol (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Dargludedd thermol (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Fe'i cynlluniwyd yn benodol ar gyfer gweithgynhyrchu celloedd solar effeithlonrwydd uchel, gan gefnogi prosesu wafferi maint mawr G12. Mae dyluniad cludwyr optimaidd yn cynyddu trwybwn yn sylweddol, gan alluogi cyfraddau cynnyrch uwch a chostau cynhyrchu is.

Eitem	Math	Cludwr afrlladen rhif
Cwch Grephite PEVCD - Y gyfres 156	156-13 cwch grephite	144
	156-19 cwch grephite	216
	156-21 cwch grephite	240
	156-23 cwch graffit	308
Cwch Grephite PEVCD - Y gyfres 125	125-15 cwch grephite	196
	125-19 cwch grephite	252
	125-21 cwch grphite	280