Deiliad Wafferi swbstrad graffit ar gyfer PECVD

Daliwr Wafferi swbstrad graffit ar gyfer Delwedd dan Sylw PECVD

Disgrifiad Byr:

Mae Deiliad Swbstrad Graffit VET Energy wedi'i beiriannu i gynnal aliniad a sefydlogrwydd wafferi trwy gydol y broses PECVD, gan atal halogiad a lleihau'r risg o ddifrod. Mae'r Deiliad Wafferi Graffit yn darparu llwyfan diogel, gwastad, gan sicrhau bod wafferi yn cael eu hamlygu'n gyfartal i'r plasma ar gyfer dyddodiad cyson o ansawdd uchel. Gyda'i ddargludedd thermol uchel a chryfder eithriadol, mae'r deiliad hwn yn helpu i wella effeithlonrwydd proses gyffredinol a pherfformiad cynnyrch.

Anfonwch e-bost atom Lawrlwythwch fel PDF

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Mae Deiliad Wafferi Sbstrad Graffit Ynni VET yn gludwr manwl gywir a ddyluniwyd ar gyfer proses PECVD (Dyddodiad Anwedd Cemegol Gwell Plasma). Mae'r Deiliad Sbstrad Graffit o ansawdd uchel hwn wedi'i wneud o ddeunydd graffit purdeb uchel, dwysedd uchel, gyda gwrthiant tymheredd uchel rhagorol, ymwrthedd cyrydiad, sefydlogrwydd dimensiwn a nodweddion eraill. Gall ddarparu llwyfan cefnogi sefydlog ar gyfer proses PECVD a sicrhau unffurfiaeth a gwastadrwydd dyddodiad ffilm.

Mae gan dabl cymorth wafferi graffit proses VET Energy PECVD y nodweddion canlynol:

▪Purdeb uchel:cynnwys amhuredd hynod o isel, osgoi halogi ffilm, sicrhau ansawdd y ffilm.

▪Dwysedd uchel:dwysedd uchel, cryfder mecanyddol uchel, gall wrthsefyll tymheredd uchel a gwasgedd uchel amgylchedd PECVD.

▪Sefydlogrwydd dimensiwn da:newid dimensiwn bach ar dymheredd uchel, gan sicrhau sefydlogrwydd y broses.

▪Dargludedd thermol ardderchog:trosglwyddo gwres yn effeithiol i atal afrlladen rhag gorboethi.

▪Gwrthiant cyrydiad cryf:yn gallu gwrthsefyll erydiad gan wahanol nwyon cyrydol a phlasma.

▪Gwasanaeth wedi'i addasu:gellir addasu tablau cymorth graffit o wahanol feintiau a siapiau yn unol ag anghenion cwsmeriaid.

Manteision Cynnyrch

▪Gwella ansawdd y ffilm:Sicrhau dyddodiad ffilm unffurf a gwella ansawdd ffilm.

▪Ymestyn oes offer:Gwrthiant cyrydiad rhagorol, ymestyn oes gwasanaeth offer PECVD.

▪Lleihau costau cynhyrchu:Gall hambyrddau graffit o ansawdd uchel leihau cyfradd sgrap a lleihau costau cynhyrchu.

Deunydd graffit o SGL:

Paramedr nodweddiadol: R6510
Mynegai	Safon prawf	Gwerth	Uned
Maint grawn cyfartalog	ISO 13320	10	μm
Dwysedd swmp	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
mandylledd agored	DIN66133	10	%
Maint mandwll canolig	DIN66133	1.8	μm
Athreiddedd	DIN 51935	0.06	cm²/s
Caledwch Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Gwrthedd trydanol penodol	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Cryfder hyblyg	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Cryfder cywasgol	DIN 51910	130	MPa
Modwlws Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Ehangu thermol (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Dargludedd thermol (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Fe'i cynlluniwyd yn benodol ar gyfer gweithgynhyrchu celloedd solar effeithlonrwydd uchel, gan gefnogi prosesu wafferi maint mawr G12. Mae dyluniad cludwyr optimaidd yn cynyddu trwybwn yn sylweddol, gan alluogi cyfraddau cynnyrch uwch a chostau cynhyrchu is.

Eitem	Math	Cludwr afrlladen rhif
Cwch Grephite PEVCD - Y gyfres 156	156-13 cwch grephite	144
	156-19 cwch grephite	216
	156-21 cwch grephite	240
	156-23 cwch graffit	308
Cwch Grephite PEVCD - Y gyfres 125	125-15 cwch grephite	196
	125-19 cwch grephite	252
	125-21 cwch grphite	280