Ohřívač substrátu MOCVD, Topná tělesa pro MOCVD,
grafitový ohřívač, ohřívač, Ohřívač substrátu MOCVD,
Grafitový ohřívač potažený SIC s dlouhou životností pro MOCVD K465i
Thegrafitový ohřívačkomponenty se používají ve vysokoteplotní peci s teplotou dosahovanou 2200 stupňů ve vakuovém prostředí a 3000 stupňů v prostředí deoxidovaného a vloženého plynu.
Hlavní rysygrafitový ohřívač:
1. rovnoměrnost topné struktury.
2. dobrá elektrická vodivost a vysoké elektrické zatížení.
3. odolnost proti korozi.
4. neoxidovatelnost.
5. vysoká chemická čistota.
6. vysoká mechanická pevnost.
Výhodou je energetická účinnost, vysoká hodnota a nenáročnost na údržbu.
Můžeme vyrobit antioxidační grafitový kelímek s dlouhou životností, grafitové formy a všechny části grafituohřívač.
Hlavní parametry grafituohřívač:
Technické specifikace | VET-M3 |
Objemová hustota (g/cm3) | ≥1,85 |
Obsah popela (PPM) | ≤500 |
Tvrdost Shore | ≥45 |
Specifický odpor (μ.Ω.m) | ≤12 |
Pevnost v ohybu (Mpa) | ≥40 |
Pevnost v tlaku (Mpa) | ≥70 |
Max.Velikost zrna (μm) | ≤43 |
Součinitel tepelné roztažnosti Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafitový ohřívač pro elektrickou pec má vlastnosti tepelné odolnosti, odolnosti proti oxidaci, dobré elektrické vodivosti a lepší mechanické náročnosti.Můžeme obrábět různé typy grafitových ohřívačů podle návrhů zákazníků.