Suscettore rivestitu di carburu di tantalu per wafer

Descrizione breve:

Semicera hè un capu in a tecnulugia di prutezzione di materiale à alta temperatura è simu fieri di presentà i prudutti di rivestimentu CVD Tantalum Carbide (TaC) per furnisce una prutezzione affidabile à alta temperatura per i vostri sustrati di grafite.U grafite hè un materiale eccellente resistente à a temperatura alta, ma hè propensu à l'ossidazione à alte temperature, chì ùn pò micca esse completamente evitata ancu in un furnace à vacuum.U nostru revestimentu CVD Tantalum Carbide (TaC) pò prevene efficacemente l'ossidazione di u sustrato di grafite mantenendu u so eccellente rendimentu à alta temperatura.TaC hè ancu un materiale inerte chì pò resiste à reazzione cù gasi cum'è l'argon è l'idrogenu.Cunsultate Semicera oghje per amparà di più nantu à i nostri susceptors EPI rivestiti di Carburu di Tantalum CVD per assicurà a stabilità è l'affidabilità di e vostre applicazioni à alta temperatura.

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Detail di u produttu

Tags di u produttu

U rivestimentu TaC hè un tipu di revestimentu di carburu di tantalu (TaC) preparatu da a tecnulugia di deposizione fisica di vapore, hà e seguenti caratteristiche:

1. Durezza alta: a durezza di u revestimentu TaC hè alta, di solitu pò ghjunghje à 2500-3000HV, hè un revestimentu duru eccellente.

2. Resistenza à l'usura: u revestimentu TaC hè assai resistente à l'usura, chì pò riduce efficacemente l'usura è i danni di e parti meccaniche durante l'usu.

3. Bona resistenza à a temperatura alta: u revestimentu TaC pò ancu mantene a so prestazione eccellente sottu à l'ambienti di a temperatura alta.

4. Bona stabilità chimica: TaC revestimentu hà una bona stabilità chimica è pò resiste à parechje reazzioni chimichi, cum'è acidi è basi.

Revestiment CVD en carbure de tantale EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Proprietà fisiche di TaC rivestimentu
密度/ Densità	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissività specifica	0.3
热膨胀系数 / Coefficient di espansione termale	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Durezza (HK)	2000 HK
电阻 / Resistenza	1×10^-5 Ohm * cm
热稳定性 / Stabilità termica	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Cambia a dimensione di grafite	-10 ~ -20um
涂层厚度 / Spessore di u rivestimentu	≥20um valore tipicu (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd hè una impresa d'alta tecnulugia cuncentrata in a produzzione è a vendita di materiali avanzati high-end, i materiali è a tecnulugia chì copre u grafite, u carburu di siliciu, a ceramica, u trattamentu di a superficia è cusì.I prudutti sò largamente usati in fotovoltaica, semiconductor, energia nova, metallurgia, etc.

A nostra squadra tecnica vene da i migliori istituzioni di ricerca naziunali, ponu furnisce più soluzioni di materiale prufessiunale per voi.

Un cordiale benvenutu per visità a nostra fabbrica, avemu più discussione!