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PruduttuDiscrizzione
Carburo di silicio Wafer Boat sò largamente usati cum'è un supportu di wafer in u prucessu di diffusione à alta temperatura.
Vantaggi:
Resistenza à alta temperatura:usu normale à 1800 ℃
Alta conduttività termica:equivalenti à u materiale di grafite
Alta durezza:durezza seconda solu à u diamante, nitruru di boru
Resistenza à a corrosione:l'acidu forte è l'alcali ùn anu micca corrosione, a resistenza à a corrosione hè megliu cà u carburu di tungstenu è l'alumina.
Pesu ligeru:bassa densità, vicinu à l'aluminiu
Nisuna deformazione: bassu coefficient di espansione termica
Resistenza di scossa termale:pò resiste à forti cambiamenti di temperatura, resiste à u scossa termica, è hà un rendimentu stabile
Proprietà fisiche di SiC
Pruprietà | Valore | Metudu |
Densità | 3,21 g/cc | Sink-float è dimensione |
Calore specificu | 0,66 J/g °K | Flash laser pulsatu |
Forza Flexural | 450 MPa 560 MPa | Curvatura à 4 punti, curvatura à 4 punti RT, 1300 ° |
Tenacità di frattura | 2,94 MPa m1/2 | Microindentazione |
Durezza | 2800 | Vicker's, carica di 500 g |
Modulu elasticu Modulu di Young | 450 GPa 430 GPa | 4 pt bend, RT4 pt bend, 1300 °C |
Grandezza di granu | 2-10 µm | SEM |
Proprietà termiche di SiC
Conductibilità termale | 250 W/m °K | Metudu di flash laser, RT |
Dilatazione termica (CTE) | 4,5 x 10-6 °K | Temperature de l'ambiance à 950 °C, dilatomètre de silice |