Anellu di grafite rivestitu di carburu di silicium CVD

Breve descrizzione:

L'anellu di grafite rivestitu di carburu di silicium VET Energy hè un pruduttu d'altu rendiment cuncepitu per furnisce un rendimentu consistente è affidabile per un periudu prolongatu. Hà una super bona resistenza à u calore è uniformità termica, alta purezza, resistenza à l'erosione, facendu a suluzione perfetta per l'applicazioni di trasfurmazioni di wafer.

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Detail di u produttu

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Proprietà tipiche di u materiale di grafite di basa:

Densità apparente:	1,85 g/cm3
Resistività elettrica:	11 μΩm
Forza a flessione:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Durezza Shore:	58
Ash:	< 5 ppm
Conduttività termica:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Fornimu diversi suscettori è cumpunenti di grafite per tutti i reattori epitassi attuali. I nostri prudutti includenu susceptors di barile per unità LPE, susceptors pancake per unità LPE, CSD è Gemini, è susceptors single-wafer per unità applicate è ASM.

Cumminendu partenarii forti cù i principali OEM, sapè fà materiali è sapè fà di fabricazione, vet offre u disignu ottimale per a vostra applicazione.

VET Energy hè luveru fabricatore di prudutti persunalizati di grafite è carburu di siliciu cù rivestimentu CVD,pò furniscevariipezzi persunalizati per l'industria semiconductora è fotovoltaica. Our squadra tecnicu vene da istituzioni di ricerca naziunali superiore, ponu furnisce più suluzioni materiali prufessiunaleper tè.

Fcaratteristiche di i nostri prudutti:

1. Resistenza à l'ossidazione alta temperatura finu à 1700℃.
2. Purità alta èuniformità termica
3. Eccellente resistenza à a corrosione: acidu, alkali, sali è reagenti organici.
4. Alta durezza, superficia compacta, particelle fini.
5. A vita di serviziu più longa è più durable

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu
性质 / Pruprietà	典型数值 / Valore tipicu
晶体结构 / Struttura di Cristalli	FCC phase β多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 维氏硬度（500g di carica）
晶粒大小 / Grain Size	2 ~ 10 μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità di calore	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperature di sublimazione	2700 ℃
抗弯强度 / Forza Flexural	415 MPa RT à 4 punti
杨氏模量 / Modulu di Ghjuventù	430 Gpa 4pt curva, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1