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Riscaldatore di substratu MOCVD, Elementi riscaldanti per MOCVD
Riscaldatore di grafite:
I cumpunenti di u riscaldatore di grafite sò usati in u fornu d'alta temperatura cù a temperatura righjunta à 2200 gradi à l'ambienti di vacuum è 3000 gradi in l'ambiente di gas disossidatu è inseritu.
Caratteristiche principali di u riscaldatore di grafite:
1. uniformità di struttura di riscaldamentu.
2. bona conductivity ilettricu è alta carica elettrica.
3. resistenza à currusioni.
4. inossidabilità.
5. alta purità chimica.
6. altu forza miccanicu.
U vantaghju hè efficienza energetica, altu valore è mantenimentu bassu.
Pudemu pruduce un crogiole di grafite anti-ossidazione è di longa vita, muffa di grafite è tutte e parti di riscaldatore di grafite.
Parametri principali di u riscaldatore di grafite:
Specificazione tecnica | VET-M3 |
Densità apparente (g/cm3) | ≥ 1,85 |
Contenutu di Ash (PPM) | ≤500 |
Durezza Shore | ≥45 |
Résistance spécifique (μ.Ω.m) | ≤12 |
Forza à a flessione (Mpa) | ≥40 |
Forza di compressione (Mpa) | ≥70 |
Max. Taille de grain (μm) | ≤43 |
Coefficient of Thermal Expansion Mm/°C | ≤4,4 * 10-6 |
U riscaldatore di grafite per u fornu elettricu hà proprietà di resistenza à u calore, resistenza à l'ossidazione, bona conduttività elettrica è megliu intensità meccanica. Pudemu machinà diversi tipi di riscaldatori di grafite secondu i disinni di i clienti.
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