SiC coating graphite MOCVD Wafer carriers/susceptor
Ang tanan sa among mga susceptor gihimo sa taas nga kusog nga isostatic graphite. Makabenepisyo gikan sa taas nga kaputli sa atong mga graphites - naugmad ilabi na alang sa mahagiton nga mga proseso sama sa epitaxy, kristal nga pagtubo, ion implantation ug plasma etching, ingon man alang sa produksyon sa LED chips.
Mga bahin sa among mga produkto:
1. Taas nga temperatura nga pagsukol sa oksihenasyon hangtod sa 1700 ℃.
2. Taas nga kaputli ug thermal uniformity
3. Maayo kaayo nga pagsukol sa kaagnasan: acid, alkali, asin ug mga organikong reagents.
4. Taas nga katig-a, compact nga nawong, maayong mga partikulo.
5. Mas taas nga serbisyo sa kinabuhi ug mas lig-on
CVD SiC薄膜基本物理性能 Panguna nga pisikal nga mga kabtangan sa CVD SiCsapaw | |
性质 / Property | 典型数值 / Kinaandan nga Bili |
晶体结构 / Kristal nga Istruktura | FCC β nga hugna多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Densidad | 3.21 g/cm³ |
硬度 / Katig-a | 2500 维氏硬度(500g load) |
晶粒大小 / Grain Laki | 2~10μm |
纯度 / Pagkaputli sa Kemikal | 99.99995% |
热容 / Kapasidad sa Kainit | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimation Temperatura | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Flexural nga Kusog | 415 MPa RT 4-puntos |
杨氏模量 / Modulus sa Batan-on | 430 Gpa 4pt bend, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalConductivity | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ang VET Energy mao ang tinuod nga tiggama sa customized nga graphite ug silicon carbide nga mga produkto nga adunay lain-laing mga coating sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa, makahatag sa nagkalain-laing customized nga mga bahin para sa semiconductor ug photovoltaic nga industriya.
Ang among teknikal nga grupo naggikan sa mga nanguna nga mga institusyon sa panukiduki sa lokal, makahatag labi ka propesyonal nga mga solusyon sa materyal alang kanimo.
Kami padayon nga nagpalambo sa mga advanced nga proseso aron mahatagan ang labi ka abante nga mga materyales, ug nagtrabaho sa usa ka eksklusibo nga patente nga teknolohiya, nga makahimo sa pagbugkos tali sa coating ug substrate nga labi ka hugot ug dili kaayo dali nga mahurot.
Mainiton nga pag-abiabi kanimo sa pagbisita sa among pabrika, magbaton pa ta og dugang nga diskusyon!