SiC Coating/Coated Graphite Substrate/Tray para sa Semiconductor

Mubo nga Deskripsyon:

Ang VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor para sa Epitaxial Growth kay usa ka high-performance nga produkto nga gilaraw aron maghatag makanunayon ug kasaligan nga performance sa taas nga panahon. Kini adunay maayo kaayo nga pagbatok sa kainit ug pagkakapareho sa thermal, taas nga kaputli, pagsukol sa erosion, nga naghimo niini nga hingpit nga solusyon alang sa mga aplikasyon sa pagproseso sa wafer.

Ipadala ang email kanamo I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

SiC coating/coated sa Graphite susceptor para sa Semiconductor

AngSiC Coated Graphite Substrateusa ka labi ka lig-on ug episyente nga solusyon nga gidisenyo aron matubag ang mga higpit nga gipangayo sa industriya sa pagproseso sa semiconductor. Nagpakita sa usa ka layer sa taas nga kaputlisilicon carbide (SiC) coating, kini nga substrate naghatod ug talagsaon nga thermal stability, oxidation resistance, ug dugay nga serbisyo sa kinabuhi, nga naghimo niini nga sulundon alang sa mga aplikasyon sa MOCVD nga mga proseso, graphite wafer carrier, ug uban pang taas nga temperatura nga palibot.

Mga bahin:
· Maayo kaayo nga Thermal Shock Resistance
· Maayo nga Pisikal nga Pagsukol sa Kakurat
· Maayo kaayo nga pagsukol sa kemikal
· Labing Taas nga Kaputli
· Anaa sa Komplikado nga Porma
· Magamit ubos sa Oxidizing Atmosphere

Aplikasyon:

Mga Feature ug Bentaha sa Produkto:

1. Labaw nga Thermal Resistance:Uban sa taas nga kaputliSiC coating, ang substrate makasugakod sa grabeng mga temperatura, nga nagsiguro sa makanunayon nga pasundayag sa gikinahanglan nga mga palibot sama sa epitaxy ug semiconductor fabrication.

2. Gipauswag nga Kalig-on:Ang SiC nga adunay sapaw nga graphite nga mga sangkap gilaraw aron makasukol sa kemikal nga kaagnasan ug oksihenasyon, nga nagdugang sa gitas-on sa kinabuhi sa substrate kumpara sa standard nga mga substrate sa graphite.

3. Vitreous Coated Graphite:Ang talagsaon nga vitreous nga istruktura saSiC coatingnaghatag og maayo kaayo nga katig-a sa nawong, nga nagpamenos sa pagsul-ob ug pagkagisi sa panahon sa pagproseso sa taas nga temperatura.

4. Taas nga Purity SiC Coating:Gisiguro sa among substrate ang gamay nga kontaminasyon sa mga sensitibo nga proseso sa semiconductor, nga nagtanyag kasaligan alang sa mga industriya nga nanginahanglan higpit nga kaputli sa materyal.

5. Lapad nga Market Application:AngSiC adunay sapaw nga graphite susceptorAng merkado nagpadayon sa pagtubo samtang ang panginahanglan alang sa mga advanced nga SiC coated nga mga produkto sa semiconductor manufacturing nga pagtaas, nga gipahimutang kini nga substrate ingon usa ka hinungdan nga magdudula sa parehas nga merkado sa graphite wafer carrier ug ang merkado sa silicon carbide coated graphite trays.

Kasagaran nga mga Kinaiya sa Base Graphite Material:

Dayag nga Densidad:	1.85 g/cm3
Electrical nga resistensya:	11 μΩm
Flexural Strenth:	49 MPa (500kgf/cm2)
Katig-a sa baybayon:	58
abo:	<5ppm
Thermal Conductivity:	116 W/mK (100 kcal/mhr- ℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Panguna nga pisikal nga mga kabtangan sa CVD SiCsapaw
性质 / Property	典型数值 / Tipikal nga Bili
晶体结构 / Crystal Structure	FCC β phase 多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katig-a	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Grain SiZe	2~10μm
纯度 / Pagkaputli sa Kemikal	99.99995%
热容 / Kapasidad sa Kainit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimation Temperatura	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-puntos
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300 ℃
导热系数 / Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ang VET Energy mao ang tinuod nga tiggama sa customized nga graphite ug silicon carbide nga mga produkto nga adunay lain-laing mga coating sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa, makahatag sa nagkalain-laing customized nga mga bahin para sa semiconductor ug photovoltaic nga industriya.

Ang among teknikal nga grupo naggikan sa mga nanguna nga mga institusyon sa panukiduki sa lokal, makahatag labi ka propesyonal nga mga solusyon sa materyal alang kanimo.

Kami padayon nga nagpalambo sa mga advanced nga proseso aron mahatagan ang labi ka abante nga mga materyales, ug nagtrabaho sa usa ka eksklusibo nga patente nga teknolohiya, nga makahimo sa pagbugkos tali sa coating ug substrate nga labi ka hugot ug dili kaayo dali nga mahurot.

Mainiton nga pag-abiabi kanimo sa pagbisita sa among pabrika, magbaton pa ta og dugang nga diskusyon!