PECVD Loading Tray Deposition Graphite Tray

Mubo nga Deskripsyon:

Ang PECVD Loading Tray sa VET Energy kay gilaraw aron maghatag luwas ug bisan suporta sa mga wafer sa panahon sa pagdeposito, pagpauswag sa pagkamakanunayon ug kalidad sa proseso sa pagdeposito. Uban sa maayo kaayo nga pagsukol sa kainit, ang Graphite Tray makatabang sa pagpadayon sa usa ka kontrolado nga palibot sa sulod sa mga lawak sa PECVD, nga makunhuran ang peligro sa kontaminasyon ug masiguro ang taas nga kahusayan sa proseso.

Ipadala ang email kanamo I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Ang VET Energy PECVD loading tray kay usa ka precision carrier nga gidisenyo para sa PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) nga proseso. Kining taas nga kalidad nga deposition graphite tray gihimo sa high-purity, high-density graphite nga materyal. Kini adunay maayo kaayo nga taas nga temperatura nga pagsukol, pagsukol sa kaagnasan, kalig-on sa dimensional ug uban pang mga kinaiya. Makahatag kini og usa ka lig-on nga plataporma sa carrier alang sa proseso sa PECVD ug masiguro ang pagkaparehas ug pagkapatas sa deposition sa pelikula.

Ang VET Energy PECVD loading tray kay kaylap nga gigamit sa semiconductor, photovoltaic, LED ug uban pang natad. Pananglitan:

▪ Semiconductor: Proseso sa PECVD para sa mga materyales nga semiconductor sama sa mga silicon wafers ug epitaxial wafers.

▪ Photovoltaic: Proseso sa PECVD alang sa mga manipis nga pelikula sa solar cell.

▪ LED: Proseso sa PECVD alang sa LED chips.

Mga Kaayohan sa Produkto

▪Pag-uswag sa kalidad sa pelikula:Pagsiguro sa uniporme nga pagdeposito sa pelikula ug pagpauswag sa kalidad sa pelikula.

▪Dugangi ang kinabuhi sa kagamitan:Maayo kaayo nga pagsukol sa kaagnasan, gipalugway ang kinabuhi sa serbisyo sa kagamitan sa PECVD.

▪Pagpakunhod sa gasto sa produksyon:Ang taas nga kalidad nga graphite trays makapakunhod sa gidaghanon sa scrap ug makapamenos sa gasto sa produksyon.

Graphite nga materyal gikan sa SGL:

Kasagaran nga parameter: R6510
Index	Sumbanan sa pagsulay	Bili	Unit
Average nga gidak-on sa lugas	ISO 13320	10	μm
Bulk Densidad	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Bukas nga porosity	DIN66133	10	%
Medium pore size	DIN66133	1.8	μm
Pagkamatag	DIN 51935	0.06	cm²/s
Ang katig-a sa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Piho nga electrical resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural nga kusog	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Compressive nga kusog	DIN 51910	130	MPa
Modulus ni Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Thermal pagpalapad (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermal conductivity (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Kini espesipikong gidisenyo alang sa high-efficiency solar cell manufacturing, pagsuporta sa G12 dako-dako nga wafer pagproseso. Ang na-optimize nga disenyo sa carrier hinungdanon nga nagdugang sa throughput, nga nagpaarang sa mas taas nga rate sa ani ug mubu nga gasto sa produksiyon.

butang	Type	Numero nga wafer carrier
PEVCD Grephite boat - Ang 156 nga serye	156-13 grephite nga sakayan	144
	156-19 grephite nga sakayan	216
	156-21 grephite nga sakayan	240
	156-23 graphite nga sakayan	308
PEVCD Grephite boat - Ang 125 nga serye	125-15 grephite nga sakayan	196
	125-19 grephite nga sakayan	252
	125-21 graphite nga sakayan	280