Graphite Substrate Wafer Holder alang sa PECVD

Mubo nga Deskripsyon:

Ang Graphite Substrate Holder sa VET Energy kay gi-engineered para mamentinar ang wafer alignment ug stability sa tibuok proseso sa PECVD, pagpugong sa kontaminasyon ug pagpamenos sa risgo sa kadaot. Ang Graphite Wafer Holder naghatag og usa ka luwas, bisan plataporma, pagsiguro nga ang mga wafer parehas nga naladlad sa plasma alang sa makanunayon ug taas nga kalidad nga pagdeposito. Uban sa taas nga thermal conductivity ug talagsaon nga kalig-on, kini nga tighupot makatabang sa pagpauswag sa kinatibuk-ang kahusayan sa proseso ug pasundayag sa produkto.


Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Ang VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder usa ka precision carrier nga gidisenyo alang sa proseso sa PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Kining taas nga kalidad nga Graphite Substrate Holder gihimo sa high-purity, high-density graphite nga materyal, nga adunay maayo kaayo nga taas nga temperatura nga pagsukol, pagsukol sa corrosion, dimensional nga kalig-on ug uban pang mga kinaiya. Makahatag kini og usa ka lig-on nga plataporma sa suporta alang sa proseso sa PECVD ug masiguro ang pagkaparehas ug pagkapatas sa deposition sa pelikula.

Ang VET Energy PECVD process graphite wafer support table adunay mga mosunod nga mga kinaiya:

Taas nga kaputli:hilabihan ka ubos nga hugaw nga sulod, paglikay sa kontaminasyon sa pelikula, pagsiguro sa kalidad sa pelikula.

Taas nga Densidad:taas nga densidad, taas nga mekanikal nga kusog, makasugakod sa taas nga temperatura ug taas nga presyur nga palibot sa PECVD.

Maayo nga dimensional nga kalig-on:gamay nga pagbag-o sa dimensyon sa taas nga temperatura, pagsiguro sa kalig-on sa proseso.

Maayo kaayo nga thermal conductivity:epektibo nga pagbalhin sa kainit aron malikayan ang sobrang kainit sa wafer.

Kusog nga pagsukol sa kaagnasan:makasukol sa erosion pinaagi sa nagkalain-laing corrosive gas ug plasma.

Custom nga serbisyo:graphite suporta lamesa sa lain-laing mga gidak-on ug mga porma mahimong customized sumala sa panginahanglan sa customer.

Mga Kaayohan sa Produkto

Pag-uswag sa kalidad sa pelikula:Pagsiguro sa uniporme nga pagdeposito sa pelikula ug pagpauswag sa kalidad sa pelikula.

Dugangi ang kinabuhi sa kagamitan:Maayo kaayo nga pagsukol sa kaagnasan, gipalugway ang kinabuhi sa serbisyo sa kagamitan sa PECVD.

Pagpakunhod sa gasto sa produksyon:Ang taas nga kalidad nga graphite trays makapakunhod sa gidaghanon sa scrap ug makapamenos sa gasto sa produksyon.

Graphite nga materyal gikan sa SGL:

Kasagaran nga parameter: R6510

Index Sumbanan sa pagsulay Bili Unit
Average nga gidak-on sa lugas ISO 13320 10 μm
Bulk Densidad DIN IEC 60413/204 1.83 g/cm3
Bukas nga porosity DIN66133 10 %
Medium pore size DIN66133 1.8 μm
Pagkamatag DIN 51935 0.06 cm²/s
Ang katig-a sa Rockwell HR5/100 DIN IEC60413/303 90 HR
Piho nga electrical resistivity DIN IEC 60413/402 13 μΩm
Flexural nga kusog DIN IEC 60413/501 60 MPa
Compressive nga kusog DIN 51910 130 MPa
Modulus ni Young DIN 51915 11.5×10³ MPa
Thermal pagpalapad (20-200 ℃) DIN 51909 4.2X10-6 K-1
Thermal conductivity (20 ℃) DIN 51908 105 Wm-1K-1

Kini espesipikong gidisenyo alang sa high-efficiency solar cell manufacturing, pagsuporta sa G12 dako-dako nga wafer pagproseso. Ang na-optimize nga disenyo sa carrier hinungdanon nga nagdugang sa throughput, nga nagpaarang sa mas taas nga rate sa ani ug mubu nga gasto sa produksiyon.

graphite nga sakayan
butang Type Numero nga wafer carrier
PEVCD Grephite boat - Ang 156 nga serye 156-13 grephite nga sakayan 144
156-19 grephite nga sakayan 216
156-21 grephite nga sakayan 240
156-23 graphite nga sakayan 308
PEVCD Grephite boat - Ang 125 nga serye 125-15 grephite nga sakayan 196
125-19 grephite nga sakayan 252
125-21 graphite nga sakayan 280
Mga Kaayohan sa Produkto
Mga kustomer sa kompanya

  • Kaniadto:
  • Sunod:

  • WhatsApp Online nga Chat!