Ang VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder usa ka precision carrier nga gidisenyo alang sa proseso sa PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Kining taas nga kalidad nga Graphite Substrate Holder gihimo sa high-purity, high-density graphite nga materyal, nga adunay maayo kaayo nga taas nga temperatura nga pagsukol, pagsukol sa corrosion, dimensional nga kalig-on ug uban pang mga kinaiya. Makahatag kini og usa ka lig-on nga plataporma sa suporta alang sa proseso sa PECVD ug masiguro ang pagkaparehas ug pagkapatas sa deposition sa pelikula.
Ang VET Energy PECVD process graphite wafer support table adunay mga mosunod nga mga kinaiya:
▪Taas nga kaputli:hilabihan ka ubos nga hugaw nga sulod, paglikay sa kontaminasyon sa pelikula, pagsiguro sa kalidad sa pelikula.
▪Taas nga Densidad:taas nga densidad, taas nga mekanikal nga kusog, makasugakod sa taas nga temperatura ug taas nga presyur nga palibot sa PECVD.
▪Maayo nga dimensional nga kalig-on:gamay nga pagbag-o sa dimensyon sa taas nga temperatura, pagsiguro sa kalig-on sa proseso.
▪Maayo kaayo nga thermal conductivity:epektibo nga pagbalhin sa kainit aron malikayan ang sobrang kainit sa wafer.
▪Kusog nga pagsukol sa kaagnasan:makasukol sa erosion pinaagi sa nagkalain-laing corrosive gas ug plasma.
▪Custom nga serbisyo:graphite suporta lamesa sa lain-laing mga gidak-on ug mga porma mahimong customized sumala sa panginahanglan sa customer.
Mga Kaayohan sa Produkto
▪Pag-uswag sa kalidad sa pelikula:Pagsiguro sa uniporme nga pagdeposito sa pelikula ug pagpauswag sa kalidad sa pelikula.
▪Dugangi ang kinabuhi sa kagamitan:Maayo kaayo nga pagsukol sa kaagnasan, gipalugway ang kinabuhi sa serbisyo sa kagamitan sa PECVD.
▪Pagpakunhod sa gasto sa produksyon:Ang taas nga kalidad nga graphite trays makapakunhod sa gidaghanon sa scrap ug makapamenos sa gasto sa produksyon.
Graphite nga materyal gikan sa SGL:
Kasagaran nga parameter: R6510 | |||
Index | Sumbanan sa pagsulay | Bili | Unit |
Average nga gidak-on sa lugas | ISO 13320 | 10 | μm |
Bulk Densidad | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Bukas nga porosity | DIN66133 | 10 | % |
Medium pore size | DIN66133 | 1.8 | μm |
Pagkamatag | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Ang katig-a sa Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Piho nga electrical resistivity | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Flexural nga kusog | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Compressive nga kusog | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modulus ni Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Thermal pagpalapad (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Thermal conductivity (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Kini espesipikong gidisenyo alang sa high-efficiency solar cell manufacturing, pagsuporta sa G12 dako-dako nga wafer pagproseso. Ang na-optimize nga disenyo sa carrier hinungdanon nga nagdugang sa throughput, nga nagpaarang sa mas taas nga rate sa ani ug mubu nga gasto sa produksiyon.
butang | Type | Numero nga wafer carrier |
PEVCD Grephite boat - Ang 156 nga serye | 156-13 grephite nga sakayan | 144 |
156-19 grephite nga sakayan | 216 | |
156-21 grephite nga sakayan | 240 | |
156-23 graphite nga sakayan | 308 | |
PEVCD Grephite boat - Ang 125 nga serye | 125-15 grephite nga sakayan | 196 |
125-19 grephite nga sakayan | 252 | |
125-21 graphite nga sakayan | 280 |