Graphite Wafer Boat para sa Deposition

Mubo nga Deskripsyon:

Ang VET Energy graphite wafer boat usa ka taas nga kalidad nga magamit nga gipahaum alang sa mga proseso sa pagdeposito sa semiconductor, photovoltaic ug uban pang mga industriya. Gihimo sa high-purity, high-density graphite nga materyal, kini nga produkto adunay maayo kaayo nga taas nga temperatura nga pagsukol, corrosion resistance, dimensional nga kalig-on ug uban pang mga kinaiya, ug makahatag og usa ka lig-on nga plataporma sa carrier alang sa proseso sa pagdeposito aron maseguro ang pagkaparehas ug pagka-flat sa thin film deposition .

Ipadala ang email kanamo I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Ang PECVD graphite boat gikan sa VET Energy gigama sa high-purity isostatic graphite, nga adunay porosity ubos sa 15% ug surface roughness Ra≤1.6μm. Ang superyor nga dimensyon nga kalig-on ug thermal conductivity nagsiguro sa uniporme nga pagdeposito sa pelikula ug gipauswag ang kahusayan sa cell.

Graphite nga materyal gikan sa SGL:

Kasagaran nga parameter: R6510
Index	Sumbanan sa pagsulay	Bili	Unit
Average nga gidak-on sa lugas	ISO 13320	10	μm
Bulk Densidad	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Bukas nga porosity	DIN66133	10	%
Medium pore size	DIN66133	1.8	μm
Pagkamatag	DIN 51935	0.06	cm²/s
Ang katig-a sa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Piho nga electrical resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural nga kusog	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Compressive nga kusog	DIN 51910	130	MPa
Modulus ni Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Thermal pagpalapad (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermal conductivity (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Kini espesipikong gidisenyo alang sa high-efficiency solar cell manufacturing, pagsuporta sa G12 dako-dako nga wafer pagproseso. Ang na-optimize nga disenyo sa carrier hinungdanon nga nagdugang sa throughput, nga nagpaarang sa mas taas nga rate sa ani ug mubu nga gasto sa produksiyon.

butang	Type	Numero nga wafer carrier
PEVCD Grephite boat - Ang 156 nga serye	156-13 grephite nga sakayan	144
	156-19 grephite nga sakayan	216
	156-21 grephite nga sakayan	240
	156-23 graphite nga sakayan	308
PEVCD Grephite boat - Ang 125 nga serye	125-15 grephite nga sakayan	196
	125-19 grephite nga sakayan	252
	125-21 graphite nga sakayan	280