Enerhiya sa VETAng PECVD process graphite carrier kay dekalidad nga consumable nga gipahaom para sa PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) nga proseso. Kini nga graphite carrier gihimo sa high-purity, high-density graphite nga materyal, nga adunay maayo kaayo nga taas nga temperatura nga pagsukol, corrosion resistance, dimensional nga kalig-on ug uban pang mga kinaiya, makahatag og usa ka lig-on nga carrier nga plataporma alang sa proseso sa PECVD, aron maseguro ang pagkaparehas ug pagka-flat sa manipis nga pelikula pagdeposito.
Ang mga tagdala sa graphite alang sa proseso sa PECVD adunay mga mosunod nga mga kinaiya:
▪ Taas nga kaputli: hilabihan ka ubos nga kahugawan, paglikay sa kontaminasyon sa pelikula ug pagsiguro sa kalidad sa pelikula.
▪ Taas nga densidad: taas nga densidad, taas nga kusog sa mekanikal, makasugakod sa taas nga temperatura ug taas nga presyur nga palibot sa PECVD.
▪ Maayo nga kalig-on sa dimensyon: gamay nga pagbag-o sa dimensyon sa taas nga temperatura, pagsiguro sa kalig-on sa proseso.
▪ Maayo kaayo nga thermal conductivity: epektibo nga pagbalhin sa kainit aron malikayan ang overheating sa wafer.
▪ Kusog nga pagsukol sa kaagnasan: makasukol sa pagbanlas sa lainlaing mga makadaot nga gas ug plasma.
▪ Customized nga serbisyo: graphite carriers sa lain-laing mga gidak-on ug mga porma mahimong customized sumala sa panginahanglan sa customer.
Graphite nga materyal gikan sa SGL:
Kasagaran nga parameter: R6510 | |||
Index | Sumbanan sa pagsulay | Bili | Unit |
Average nga gidak-on sa lugas | ISO 13320 | 10 | μm |
Bulk Densidad | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Bukas nga porosity | DIN66133 | 10 | % |
Medium pore size | DIN66133 | 1.8 | μm |
Pagkamatag | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Ang katig-a sa Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Piho nga electrical resistivity | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Flexural nga kusog | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Compressive nga kusog | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modulus ni Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Thermal pagpalapad (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Thermal conductivity (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Kini espesipikong gidisenyo alang sa high-efficiency solar cell manufacturing, pagsuporta sa G12 dako-dako nga wafer pagproseso. Ang na-optimize nga disenyo sa carrier hinungdanon nga nagdugang sa throughput, nga nagpaarang sa mas taas nga rate sa ani ug mubu nga gasto sa produksiyon.
butang | Type | Numero nga wafer carrier |
PEVCD Grephite boat - Ang 156 nga serye | 156-13 grephite nga sakayan | 144 |
156-19 grephite nga sakayan | 216 | |
156-21 grephite nga sakayan | 240 | |
156-23 graphite nga sakayan | 308 | |
PEVCD Grephite boat - Ang 125 nga serye | 125-15 grephite nga sakayan | 196 |
125-19 grephite nga sakayan | 252 | |
125-21 graphite nga sakayan | 280 |