Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel SusceptorKini usa ka espesyal nga gidisenyo nga suporta ug aparato sa pagpainit nga gigamit sa paghawid ug pagpainit sa mga substrate sa semiconductor sa panahon sa mga proseso sa paghimo sama sa mga proseso sa Deposition o Epitaxy.

Ang istruktura niini naglakip sa kasagaran nga cylindrical o gamay nga barrel-shaped, ang nawong adunay daghang mga bulsa o mga plataporma alang sa pagbutang sa mga wafer, mahimong solid o haw-ang nga disenyo, depende sa pamaagi sa pagpainit.

Ang mga nag-unang gimbuhaton sa epitaxial barrel susceptor:

-Suporta sa substrate: luwas nga nagkupot sa daghang mga wafer sa semiconductor;
-Gigikanan sa kainit: naghatag ug taas nga temperatura nga gikinahanglan alang sa pagtubo pinaagi sa pagpainit;
-Pagkaparehas sa temperatura: nagsiguro sa uniporme nga pagpainit sa mga substrate;
-Pagtuyok: kasagaran motuyok sa panahon sa pagtubo aron sa pagpalambo sa temperatura ug gas distribution pagkaparehas.

Prinsipyo sa pagtrabaho sa Epi graphite barrel susceptor:
- Sa epitaxial reactor, ang barrel susceptor gipainit sa gikinahanglan nga temperatura (kasagaran 1000 ℃-1200 ℃ alang sa silicon epitaxy);
-Ang susceptor sa baril nagtuyok aron masiguro ang parehas nga pag-apod-apod sa temperatura ug pag-agos sa gas;
-Ang mga reaksyon nga gas madunot sa taas nga temperatura, nga nagporma og epitaxial layer sa substrate surface.

Aplikasyon:
-Nag-una nga gigamit alang sa pagtubo sa silicon epitaxial
-Aplikable usab alang sa epitaxy sa ubang mga materyales sa semiconductor sama sa GaAs, InP, ug uban pa.

Gigamit sa VET Energy ang taas nga kaputli nga graphite nga adunay sapaw nga CVD-SiC aron mapauswag ang kalig-on sa kemikal:

Ang mga bentaha sa VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:

-Taas nga temperatura nga kalig-on;
- Maayo nga thermal uniformity;
-Mahimo ba nga magproseso sa daghang mga substrate nga dungan, pagpauswag sa kahusayan sa produksiyon;
-Chemically inert, pagmintinar sa usa ka high-purity pagtubo palibot.