Ang VET Energy naggamit ug ultra-high puritysilicon carbide (SiC)naporma pinaagi sa kemikal nga alisngaw nga pagbutang(CVD)isip tinubdan nga materyal sa pagtuboMga kristal nga SiCpinaagi sa physical vapor transport (PVT). Sa PVT, ang gigikanan nga materyal gikarga sa atunawan sa tubigug gisublimad ngadto sa kristal nga binhi.
Ang usa ka taas nga kaputli nga gigikanan gikinahanglan aron makahimo og taas nga kalidadMga kristal nga SiC.
Espesyalista sa VET Energy ang paghatag ug dako nga partikulo nga SiC para sa PVT tungod kay kini adunay mas taas nga densidad kaysa gamay nga partikulo nga materyal nga naporma pinaagi sa kusog nga pagkasunog sa Si ug C nga adunay mga gas. Dili sama sa solid-phase nga sintering o ang reaksyon sa Si ug C, wala kini magkinahanglan og usa ka dedikado nga sintering furnace o usa ka dugay nga sintering nga lakang sa usa ka growth furnace. Kining dako nga partikulo nga materyal adunay halos kanunay nga evaporation rate, nga nagpalambo sa run-to-run uniformity.
Pasiuna:
1. Pag-andam sa CVD-SiC block source: Una, kinahanglan nimo nga mag-andam og taas nga kalidad nga CVD-SiC block source, nga kasagaran adunay taas nga kaputli ug taas nga densidad. Mahimo kini nga andamon pinaagi sa chemical vapor deposition (CVD) nga pamaagi ubos sa angay nga kondisyon sa reaksyon.
2. Pag-andam sa substrate: Pagpili og angay nga substrate isip substrate alang sa SiC nga usa ka kristal nga pagtubo. Ang kasagarang gigamit nga substrate nga mga materyales naglakip sa silicon carbide, silicon nitride, ug uban pa, nga adunay maayong pagkaparis sa nagtubo nga SiC single crystal.
3. Pagpainit ug sublimation: Ibutang ang CVD-SiC block source ug substrate sa taas nga temperatura nga hudno ug paghatag og angay nga kondisyon sa sublimation. Ang sublimation nagpasabot nga sa taas nga temperatura, ang tinubdan sa block direkta nga mausab gikan sa solid ngadto sa alisngaw nga estado, ug dayon mo-condenses sa ibabaw sa substrate aron mahimong usa ka kristal.
4. Pagkontrol sa temperatura: Atol sa proseso sa sublimation, ang gradient sa temperatura ug ang pag-apod-apod sa temperatura kinahanglan nga tukma nga kontrolon aron mapalambo ang sublimation sa block source ug ang pagtubo sa single crystals. Ang tukma nga pagkontrol sa temperatura mahimong makab-ot ang sulundon nga kalidad sa kristal ug rate sa pagtubo.
5. Pagkontrol sa atmospera: Atol sa proseso sa sublimation, ang atmospera sa reaksyon kinahanglan usab nga kontrolon. Ang high-purity inert gas (sama sa argon) kasagarang gigamit isip carrier gas aron mamentinar ang tukma nga presyur ug kaputli ug mapugngan ang kontaminasyon sa mga hugaw.
6. Usa ka kristal nga pagtubo: Ang CVD-SiC block tinubdan miagi sa usa ka alisngaw phase transition sa panahon sa sublimation proseso ug recondenses sa substrate nawong sa pagporma sa usa ka kristal nga istruktura. Ang paspas nga pagtubo sa SiC single nga mga kristal mahimong makab-ot pinaagi sa angay nga mga kondisyon sa sublimation ug pagkontrol sa gradient sa temperatura.