La hòstia epitaxial de carbur de silici (SiC) VET Energy és un material semiconductor de banda ampla d'alt rendiment amb una excel·lent resistència a les altes temperatures, alta freqüència i característiques d'alta potència. És un substrat ideal per a la nova generació de dispositius electrònics de potència. VET Energy utilitza la tecnologia epitaxial MOCVD avançada per fer créixer capes epitaxials de SiC d'alta qualitat sobre substrats de SiC, assegurant l'excel·lent rendiment i consistència de l'hòstia.
La nostra hòstia epitaxial de carbur de silici (SiC) ofereix una excel·lent compatibilitat amb una varietat de materials semiconductors com l'hòstia de Si, el substrat de SiC, l'hòstia SOI i el substrat de SiN. Amb la seva capa epitaxial robusta, admet processos avançats com el creixement d'Epi Wafer i la integració amb materials com l'òxid de gal·li Ga2O3 i l'oblea d'AlN, garantint un ús versàtil en diferents tecnologies. Dissenyat per ser compatible amb els sistemes de manipulació de cassets estàndard de la indústria, garanteix operacions eficients i racionalitzades en entorns de fabricació de semiconductors.
La línia de productes de VET Energy no es limita a les hòsties epitaxials de SiC. També oferim una àmplia gamma de materials de substrat semiconductors, com ara Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, etc. Wafer, per satisfer la demanda futura de la indústria electrònica de potència de dispositius de major rendiment.
ESPECIFICACIONS DE LA HÒBLEA
*n-Pm=n-tipus Pm-Grau, n-Ps=n-tipus Ps-Grau, Sl=Semi-aïllant
Item | 8 polzades | 6 polzades | 4 polzades | ||
nP | n-p.m | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Arc (GF3YFCD)-Valor absolut | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Deformació (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
Vora de l'hòstia | Bisellat |
ACABAT SUPERFICIAL
*n-Pm=n-tipus Pm-Grau, n-Ps=n-tipus Ps-Grau, Sl=Semi-aïllant
Item | 8 polzades | 6 polzades | 4 polzades | ||
nP | n-p.m | n-Ps | SI | SI | |
Acabat superficial | Poliment òptic de doble cara, CMP Si-face | ||||
Rugositat superficial | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2 nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Xips de vora | Cap permès (longitud i amplada ≥0,5 mm) | ||||
Sagnats | Cap permès | ||||
Esgarrapades (Si-Face) | Quantitat ≤5, acumulat | Quantitat ≤5, acumulat | Quantitat ≤5, acumulat | ||
Esquerdes | Cap permès | ||||
Exclusió de la vora | 3 mm |