Com es mostra més amunt, és típic
La primera meitat:
Element calefactor (bobina de calefacció): situat al voltant del tub del forn, generalment fet de cables de resistència, utilitzat per escalfar l'interior del tub del forn.
Tub de quars: el nucli d'un forn d'oxidació en calent, fet de quars d'alta puresa que pot suportar altes temperatures i romandre químicament inert.
Alimentació de gas: Situat a la part superior o lateral del tub del forn, s'utilitza per transportar oxigen o altres gasos a l'interior del tub del forn.
Brida SS: components que connecten tubs de quars i línies de gas, assegurant l'estanquitat i l'estabilitat de la connexió.
Línies d'alimentació de gas: canonades que connecten el MFC al port de subministrament de gas per a la transmissió de gas.
MFC (Mass Flow Controller): Un dispositiu que controla el flux de gas dins d'un tub de quars per regular amb precisió la quantitat de gas necessària.
Vent: S'utilitza per ventilar els gasos d'escapament des de l'interior del tub del forn cap a l'exterior de l'equip.
Part inferior
Hòsties de silici al suport: les hòsties de silici s'allotgen en un suport especial per garantir una calor uniforme durant l'oxidació.
Suport de l'hòstia: s'utilitza per subjectar l'hòstia de silici i garantir que l'hòstia de silici es mantingui estable durant el procés.
Pedestal: una estructura que subjecta un suport d'hòsties de silici, fet generalment d'un material resistent a altes temperatures.
Ascensor: S'utilitza per aixecar els suports d'hòsties dins i fora dels tubs de quars per a la càrrega i descàrrega automàtica d'hòsties de silici.
Robot de transferència d'hòsties: situat al costat del dispositiu del tub del forn, s'utilitza per treure automàticament l'hòstia de silici de la caixa i col·locar-la al tub del forn o treure'l després del processament.
Carrusel d'emmagatzematge de cassets: el carrusel d'emmagatzematge de cassets s'utilitza per emmagatzemar una caixa que conté hòsties de silici i es pot girar per accedir al robot.
Casset d'hòsties: el casset d'hòsties s'utilitza per emmagatzemar i transferir les hòsties de silici a processar.
Hora de publicació: 22-abril-2024