Com es mostra més amunt, és típic
La primera meitat:
▪ Element calefactor (bateria calefactora):
situat al voltant del tub del forn, generalment fet de cables de resistència, utilitzat per escalfar l'interior del tub del forn.
▪ Tub de quars:
El nucli d'un forn d'oxidació en calent, fet de quars d'alta puresa que pot suportar altes temperatures i romandre químicament inert.
▪ Alimentació de gas:
Situat a la part superior o lateral del tub del forn, s'utilitza per transportar oxigen o altres gasos a l'interior del tub del forn.
▪ Brida SS:
components que connecten tubs de quars i línies de gas, assegurant l'estanquitat i l'estabilitat de la connexió.
▪ Línies d'alimentació de gas:
Conduccions que connecten el MFC al port de subministrament de gas per a la transmissió de gas.
▪ MFC (Controlador de flux massiu):
Un dispositiu que controla el flux de gas dins d'un tub de quars per regular amb precisió la quantitat de gas necessària.
▪ Vent:
S'utilitza per ventilar els gasos d'escapament des de l'interior del tub del forn cap a l'exterior de l'equip.
Part inferior:
▪ Hòsties de silici al suport:
Les hòsties de silici s'allotgen en un suport especial per garantir una calor uniforme durant l'oxidació.
▪ Suport d'hòsties:
S'utilitza per subjectar l'hòstia de silici i assegurar-se que l'hòstia de silici es mantingui estable durant el procés.
▪ Pedestal:
Una estructura que subjecta un suport d'hòsties de silici, fet generalment d'un material resistent a altes temperatures.
▪ Ascensor:
S'utilitza per aixecar els suports d'hòsties dins i fora dels tubs de quars per a la càrrega i descàrrega automàtica d'hòsties de silici.
▪ Robot de transferència d'hòsties:
situat al costat del dispositiu del tub del forn, s'utilitza per treure automàticament la hòstia de silici de la caixa i col·locar-la al tub del forn, o treure'l després del processament.
▪ Carrusel d'emmagatzematge de cassets:
El carrusel d'emmagatzematge de cassets s'utilitza per emmagatzemar una caixa que conté hòsties de silici i es pot girar per accedir al robot.
▪ Casset d'hòsties:
El casset d'hòsties s'utilitza per emmagatzemar i transferir les hòsties de silici que s'han de processar.
Hora de publicació: 22-abril-2024