SiC premaz/presvučena grafitna podloga/podloga za poluprovodnike

Kratak opis:

VET Energy SiC presvučen grafitni susceptor za epitaksijalni rast je proizvod visokih performansi dizajniran da pruži dosljedne i pouzdane performanse tokom dužeg perioda. Ima super dobru otpornost na toplinu i termičku uniformnost, visoku čistoću, otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjenu u preradi vafla.


Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

SiC premaz/premaz grafitnog susceptora za Semiconductor
 
TheGrafitna podloga obložena SiCje visoko izdržljivo i efikasno rješenje dizajnirano da zadovolji rigorozne zahtjeve industrije obrade poluvodiča. Sadrži sloj visoke čistoćepremaz od silicijum karbida (SiC)., ova podloga pruža izuzetnu termičku stabilnost, otpornost na oksidaciju i produženi vijek trajanja, što je čini idealnom za primjenu u MOCVD procesima, nosačima grafitnih pločica i drugim okruženjima s visokim temperaturama.

 Karakteristike: 
· Odlična otpornost na termalni udar
· Odlična otpornost na fizički udar
· Odlična hemijska otpornost
· Super visoka čistoća
· Dostupnost u složenom obliku
·Upotrebljivo pod oksidirajućom atmosferom

aplikacija:

3

Karakteristike i prednosti proizvoda:

1. Superiorna termička otpornost:Sa visokom čistoćomSiC premaz, supstrat podnosi ekstremne temperature, osiguravajući konzistentne performanse u zahtjevnim okruženjima kao što su epitaksija i proizvodnja poluprovodnika.

2. Povećana izdržljivost:Grafitne komponente obložene SiC dizajnirane su da odolijevaju kemijskoj koroziji i oksidaciji, produžavajući vijek trajanja podloge u poređenju sa standardnim grafitnim podlogama.

3. Grafit sa staklastim slojem:Jedinstvena struktura staklastog tijelaSiC premazpruža odličnu površinsku tvrdoću, minimizirajući habanje tokom obrade na visokim temperaturama.

4. SiC premaz visoke čistoće:Naš supstrat osigurava minimalnu kontaminaciju u osjetljivim poluvodičkim procesima, nudeći pouzdanost za industrije koje zahtijevaju strogu čistoću materijala.

5. Primjena na širokom tržištu:TheSiC presvučen grafitni prijemnikTržište nastavlja rasti kako potražnja za naprednim proizvodima obloženim SiC-om u proizvodnji poluvodiča raste, pozicionirajući ovaj supstrat kao ključnog igrača i na tržištu nosača grafitnih pločica i na tržištu grafitnih nosača obloženih silicijum-karbidom.

Tipična svojstva osnovnog grafitnog materijala:

Prividna gustina: 1,85 g/cm3
Električna otpornost: 11 μΩm
Savojna snaga: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdoća po Shoreu: 58
pepeo: <5ppm
Toplotna provodljivost: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Osnovna fizička svojstva CVD SiCpremazivanje

性质 / Property

典型数值 / Tipična vrijednost

晶体结构 / Crystal Structure

FCC β faza 多晶,主要为(111)取向

密度 / Gustoća

3,21 g/cm³

硬度 / Tvrdoća

2500 维氏硬度 (500g opterećenje)

晶粒大小 / Veličina zrna

2~10μm

纯度 / Hemijska čistoća

99,99995%

热容 / Heat Capacity

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacije

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4 tačke

杨氏模量 / Youngov modul

430 Gpa 4pt krivina, 1300 ℃

导热系数 / Toplotna provodljivost

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / toplinska ekspanzija (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy je pravi proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicijum karbida sa različitim premazima kao što su SiC premaz, TaC premaz, premaz staklenog ugljika, premaz pirolitičkog ugljenika, itd., može isporučiti različite prilagođene dijelove za poluvodičku i fotonaponsku industriju.

Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija, može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Kontinuirano razvijamo napredne procese kako bismo osigurali naprednije materijale i razvili smo ekskluzivnu patentiranu tehnologiju, koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu tvornicu, idemo dalje razgovarati!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Prethodno:
  • sljedeće:

  • WhatsApp Online ćaskanje!