SiC premaz/presvučena grafitna podloga/podloga za poluprovodnike

Kratki opis:

VET Energy SiC presvučen grafitni susceptor za epitaksijalni rast je proizvod visokih performansi dizajniran da pruži dosljedne i pouzdane performanse tokom dužeg perioda.Ima super dobru otpornost na toplinu i termičku ujednačenost, visoku čistoću, otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjenu u preradi vafla.


Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

SiC premaz/premaz grafitnog susceptora za Semiconductor
 
SiC presvučeni grafitni susceptor je ključna komponenta koja se koristi u različitim proizvodnim procesima poluvodiča.Koristimo našu patentiranu tehnologiju da napravimo nosač od silicijum karbida sa izuzetno visokom čistoćom, dobrom ujednačenošću premaza i odličnim vekom trajanja, kao i visokom hemijskom otpornošću i svojstvima termičke stabilnosti.

 Karakteristike: 
· Odlična otpornost na termalni udar
· Odlična otpornost na fizički udar
· Odlična hemijska otpornost
· Super visoka čistoća
· Dostupnost u složenom obliku
·Upotrebljivo pod oksidirajućom atmosferom

aplikacija:

3

Tipična svojstva osnovnog grafitnog materijala:

Prividna gustina: 1,85 g/cm3
Električna otpornost: 11 μΩm
Savojna snaga: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdoća po Šoru: 58
pepeo: <5ppm
Toplotna provodljivost: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Osnovna fizička svojstva CVD SiCpremazivanje

性质 / Property

典型数值 / Tipična vrijednost

晶体结构 / Crystal Structure

FCC β faza 多晶,主要为(111)取向

密度 / Gustoća

3,21 g/cm³

硬度 / Tvrdoća

2500 维氏硬度 (500g opterećenje)

晶粒大小 / Veličina zrna

2~10μm

纯度 / Hemijska čistoća

99,99995%

热容 / Heat Capacity

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacije

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4 tačke

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt krivina, 1300℃

导热系数 / Toplotna provodljivost

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / toplinska ekspanzija (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

VET Energy je pravi proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicijum karbida sa različitim premazima kao što su SiC premaz, TaC premaz, premaz staklenog ugljika, premaz pirolitičkog ugljenika, itd., može isporučiti različite prilagođene dijelove za poluvodičku i fotonaponsku industriju.

Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija, može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Kontinuirano razvijamo napredne procese kako bismo osigurali naprednije materijale i razvili smo ekskluzivnu patentiranu tehnologiju, koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu tvornicu, idemo dalje razgovarati!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Prethodno:
  • Sljedeći:

  • WhatsApp Online ćaskanje!