SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

SiC Coating Graphite MOCVD Vafer Carriers Susceptors Istaknuta slika

Kratak opis:

VET Energy SiC presvučen MOCVD susceptor za epitaksijalni rast je proizvod visokih performansi dizajniran da pruži dosljedne i pouzdane performanse tokom dužeg perioda. Ima super dobru otpornost na toplinu i termičku uniformnost, visoku čistoću, otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjenu u preradi vafla.

Pošaljite nam email Preuzmite kao PDF

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

SiC premaz grafit MOCVD Nosači/susceptor pločice

Svi naši susceptori su napravljeni od izostatskog grafita visoke čvrstoće. Iskoristite prednosti visoke čistoće naših grafita – razvijenih posebno za izazovne procese kao što su epitaksija, uzgoj kristala, ionska implantacija i jetkanje plazmom, kao i za proizvodnju LED čipova.

Karakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju visoke temperature do 1700℃.
2. Visoka čistoća i termička uniformnost
3. Odlična otpornost na koroziju: kiseline, alkalije, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji

CVD SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizička svojstva CVD SiCpremazivanje
性质 / Nekretnina	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶,主要为（111）取向
密度 / Gustina	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度 (500g opterećenje)
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10μm
纯度 / Hemijska čistoća	99,99995%
热容 / Toplotni kapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4 tačke
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa 4pt krivina, 1300℃
导热系数 / ThermalProvodljivost	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / termička ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy je pravi proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicijum karbida sa različitim premazima kao što su SiC premaz, TaC premaz, premaz staklenog ugljika, premaz pirolitičkog ugljenika, itd., može isporučiti različite prilagođene dijelove za poluvodičku i fotonaponsku industriju.

Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija, može Vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Kontinuirano razvijamo napredne procese kako bismo osigurali naprednije materijale i razvili smo ekskluzivnu patentiranu tehnologiju, koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu tvornicu, idemo dalje razgovarati!