Epitaksijalna ploča od silicijum karbida za poluvodičku epitaksijalnu peć

Kratak opis:

VET Energy Silicon Carbide Epitaxial Sheet Tray je proizvod visokih performansi dizajniran da pruži dosljedne i pouzdane performanse tokom dužeg perioda. Ima super dobru otpornost na toplinu i termičku uniformnost, visoku čistoću, otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjenu u preradi vafla.


Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

SiC-induktori1
SiC-induktori2

Silicijum karbidna ploča je ključna komponenta koja se koristi u različitim proizvodnim procesima poluvodiča. Koristimo našu patentiranu tehnologiju da napravimo lim od silicijum karbida sa izuzetno visokom čistoćom, dobrom ujednačenošću premaza i odličnim vekom trajanja, kao i visokom hemijskom otpornošću i svojstvima termičke stabilnosti.

VET Energy je pravi proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicijum karbida sa različitim premazima kao što su SiC, Tac, pirolitički ugljik, stakleni ugljik, itd., može isporučiti različite prilagođene dijelove za poluvodičku i fotonaponsku industriju. Naš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija, može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Kontinuirano razvijamo napredne procese kako bismo osigurali naprednije materijale i razvili smo ekskluzivnu patentiranu tehnologiju, koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Karakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju visoke temperature do 1700℃.
2. Visoka čistoća i termička uniformnost
3. Odlična otpornost na koroziju: kiseline, alkalije, soli i organski reagensi.

4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji

CVD SiC薄膜基本物理性能

Osnovna fizička svojstva CVD SiCpremazivanje

性质 / Nekretnina

典型数值 / Tipična vrijednost

晶体结构 / Kristalna struktura

FCC β faza多晶,主要为(111)取向

密度 / Gustina

3,21 g/cm³

硬度 / Tvrdoća

2500 维氏硬度 (500g opterećenje)

晶粒大小 / Veličina zrna

2~10μm

纯度 / Hemijska čistoća

99,99995%

热容 / Toplotni kapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacije

2700℃

抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje

415 MPa RT 4 tačke

杨氏模量 / Youngov modul

430 Gpa 4pt krivina, 1300 ℃

导热系数 / ThermalProvodljivost

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / termička ekspanzija (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu tvornicu, idemo dalje razgovarati!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Prethodno:
  • sljedeće:

  • WhatsApp Online ćaskanje!