PECVD Loading Tray Deposition Graphite Tray

Kratak opis:

VET Energy PECVD ladica za punjenje je dizajnirana da pruži sigurnu i ujednačenu podršku za pločice tokom taloženja, poboljšavajući konzistentnost i kvalitet procesa taloženja. Sa svojom odličnom otpornošću na toplinu, Graphite Tray pomaže u održavanju kontroliranog okruženja unutar PECVD komora, smanjujući rizik od kontaminacije i osiguravajući visoku efikasnost procesa.

Pošaljite nam email Preuzmite kao PDF

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

VET Energy PECVD posuda za punjenje je precizni nosač dizajniran za PECVD (plazma poboljšano hemijsko taloženje parama) proces. Ova visokokvalitetna grafitna posuda za taloženje napravljena je od grafitnog materijala visoke čistoće i visoke gustoće. Ima odličnu otpornost na visoke temperature, otpornost na koroziju, stabilnost dimenzija i druge karakteristike. Može da obezbedi stabilnu platformu za PECVD proces i obezbedi ujednačenost i ravnost taloženja filma.

VET Energy PECVD posude za punjenje se široko koriste u poluvodičkim, fotonaponskim, LED i drugim poljima. na primjer:

▪ Poluprovodnik: PECVD proces za poluprovodničke materijale kao što su silikonske pločice i epitaksijalne pločice.

▪ Fotonaponski: PECVD proces za tanke filmove solarnih ćelija.

▪ LED: PECVD proces za LED čipove.

Prednosti proizvoda

▪Poboljšajte kvalitet filma:Osigurajte ravnomjerno taloženje filma i poboljšajte kvalitet filma.

▪Produžite vijek trajanja opreme:Odlična otpornost na koroziju, produžava vijek trajanja PECVD opreme.

▪Smanjite troškove proizvodnje:Visokokvalitetne grafitne ladice mogu smanjiti stopu otpada i smanjiti troškove proizvodnje.

Grafitni materijal iz SGL:

Tipični parametar: R6510
Indeks	Test standard	Vrijednost	Jedinica
Prosječna veličina zrna	ISO 13320	10	μm
Nasipna gustina	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Otvorena poroznost	DIN66133	10	%
Srednje veličine pora	DIN66133	1.8	μm
Propustljivost	DIN 51935	0.06	cm²/s
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifična električna otpornost	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Čvrstoća na savijanje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Čvrstoća na pritisak	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Toplotna ekspanzija (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Toplotna provodljivost (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Posebno je dizajniran za visokoefikasnu proizvodnju solarnih ćelija, podržavajući obradu pločica velikih veličina G12. Optimizirani dizajn nosača značajno povećava propusnost, omogućavajući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.

Stavka	Tip	Nosač pločice broja
PEVCD Grephite brod - serija 156	156-13 grephite brod	144
	156-19 grephite brod	216
	156-21 grephite brod	240
	156-23 grafitni čamac	308
PEVCD Grephite brod - serija 125	125-15 grephite brod	196
	125-19 grephite brod	252
	125-21 grphite brod	280