PECVD podrška za grafitne pločice

Istaknuta slika podrške za PECVD grafitne pločice

Kratak opis:

Dizajniran za preciznost i performanse, Graphite Wafer Support kompanije VET Energy je idealan materijal za upotrebu u naprednoj obradi pločica, gdje su visoka termička stabilnost i dosljedne performanse kritične. Bilo da radite sa poluvodičkim pločicama ili drugim delikatnim podlogama, ova visokokvalitetna grafitna podrška će poboljšati pouzdanost vašeg procesa i kvalitet proizvoda, čineći ga nezamjenjivom komponentom za modernu proizvodnju.

Pošaljite nam email Preuzmite kao PDF

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

VET Energy PECVD procesni grafitni nosač je osnovni potrošni materijal dizajniran za PECVD (plazma poboljšano hemijsko taloženje pare) proces. Ovaj proizvod je napravljen od grafitnog materijala visoke čistoće, visoke gustine, sa odličnom otpornošću na visoke temperature, otpornošću na koroziju, stabilnošću dimenzija i drugim karakteristikama, može pružiti stabilnu platformu podrške za PECVD proces, kako bi se osigurala ujednačenost i ravnost taloženja filma.

Dizajn "grafitnog nosača" VET Energy nosača grafitnih pločica ne samo da može efikasno da podrži pločicu, već i da obezbedi termičku stabilnost na visokoj temperaturi i visokom pritisku PECVD okruženju kako bi se osigurala stabilnost procesa.

VET Energy PECVD procesna grafitna podloga ima sljedeće karakteristike:

▪visoka čistoća:izuzetno nizak sadržaj nečistoća, izbjegavajte kontaminaciju filma, kako biste osigurali kvalitet filma.

▪Visoka gustina:visoka gustina, visoka mehanička čvrstoća, može izdržati visoku temperaturu i visok pritisak PECVD okruženja.

▪Dobra dimenzionalna stabilnost:male promjene dimenzija na visokoj temperaturi kako bi se osigurala stabilnost procesa.

▪Odlična toplotna provodljivost:efikasno prenosi toplinu kako bi se spriječilo pregrijavanje vafla.

▪Jaka otpornost na koroziju:Može da se odupre eroziji raznim korozivnim gasovima i plazmom.

▪Prilagođena usluga:Grafitni potporni stolovi različitih veličina i oblika mogu se prilagoditi prema potrebama kupaca.

Grafitni materijal iz SGL:

Tipični parametar: R6510
Indeks	Test standard	Vrijednost	Jedinica
Prosječna veličina zrna	ISO 13320	10	μm
Nasipna gustina	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Otvorena poroznost	DIN66133	10	%
Srednje veličine pora	DIN66133	1.8	μm
Propustljivost	DIN 51935	0.06	cm²/s
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifična električna otpornost	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Čvrstoća na savijanje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Čvrstoća na pritisak	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Toplotna ekspanzija (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Toplotna provodljivost (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Posebno je dizajniran za visokoefikasnu proizvodnju solarnih ćelija, podržavajući obradu pločica velikih veličina G12. Optimizirani dizajn nosača značajno povećava propusnost, omogućavajući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.

Stavka	Tip	Nosač pločice broja
PEVCD Grephite brod - serija 156	156-13 grephite brod	144
	156-19 grephite brod	216
	156-21 grephite brod	240
	156-23 grafitni čamac	308
PEVCD Grephite brod - serija 125	125-15 grephite brod	196
	125-19 grephite brod	252
	125-21 grphite brod	280