Držač pločice od grafitne podloge za PECVD

Kratak opis:

VET Energy držač za grafitnu podlogu je projektovan da održi poravnanje i stabilnost pločice tokom PECVD procesa, sprečavajući kontaminaciju i minimizirajući rizik od oštećenja. Držač grafitnih pločica pruža sigurnu, ujednačenu platformu, osiguravajući da su vafli ravnomjerno izloženi plazmi za dosljedno i visokokvalitetno taloženje. Sa svojom visokom toplotnom provodljivošću i izuzetnom čvrstoćom, ovaj držač pomaže u poboljšanju ukupne efikasnosti procesa i performansi proizvoda.

Pošaljite nam email Preuzmite kao PDF

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder je precizan nosač dizajniran za PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) proces. Ovaj visokokvalitetni držač grafitne podloge napravljen je od grafitnog materijala visoke čistoće, visoke gustine, sa odličnom otpornošću na visoke temperature, otpornošću na koroziju, stabilnošću dimenzija i drugim karakteristikama. Može pružiti stabilnu platformu podrške za PECVD proces i osigurati ujednačenost i ravnost taloženja filma.

VET Energy PECVD procesni stol za podršku grafitnih pločica ima sljedeće karakteristike:

▪visoka čistoća:izuzetno nizak sadržaj nečistoća, izbjegavajte kontaminaciju filma, osiguravajte kvalitet filma.

▪Visoka gustina:visoka gustina, visoka mehanička čvrstoća, može izdržati visoku temperaturu i visok pritisak PECVD okruženja.

▪Dobra dimenzionalna stabilnost:mala promjena dimenzija na visokoj temperaturi, osiguravajući stabilnost procesa.

▪Odlična toplotna provodljivost:efikasno prenosi toplinu kako bi se spriječilo pregrijavanje vafla.

▪Jaka otpornost na koroziju:može odoljeti eroziji raznim korozivnim plinovima i plazmom.

▪Prilagođena usluga:Grafitni potporni stolovi različitih veličina i oblika mogu se prilagoditi prema potrebama kupaca.

Prednosti proizvoda

▪Poboljšajte kvalitet filma:Osigurajte ravnomjerno taloženje filma i poboljšajte kvalitet filma.

▪Produžite vijek trajanja opreme:Odlična otpornost na koroziju, produžava vijek trajanja PECVD opreme.

▪Smanjite troškove proizvodnje:Visokokvalitetne grafitne ladice mogu smanjiti stopu otpada i smanjiti troškove proizvodnje.

Grafitni materijal iz SGL:

Tipični parametar: R6510
Indeks	Test standard	Vrijednost	Jedinica
Prosječna veličina zrna	ISO 13320	10	μm
Nasipna gustina	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Otvorena poroznost	DIN66133	10	%
Srednje veličine pora	DIN66133	1.8	μm
Propustljivost	DIN 51935	0.06	cm²/s
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifična električna otpornost	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Čvrstoća na savijanje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Čvrstoća na pritisak	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Toplotna ekspanzija (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Toplotna provodljivost (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Posebno je dizajniran za visokoefikasnu proizvodnju solarnih ćelija, podržavajući obradu pločica velikih veličina G12. Optimizirani dizajn nosača značajno povećava propusnost, omogućavajući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.

Stavka	Tip	Nosač pločice broja
PEVCD Grephite brod - serija 156	156-13 grephite brod	144
	156-19 grephite brod	216
	156-21 grephite brod	240
	156-23 grafitni čamac	308
PEVCD Grephite brod - serija 125	125-15 grephite brod	196
	125-19 grephite brod	252
	125-21 grphite brod	280