উপরে দেখানো হিসাবে, একটি সাধারণ
প্রথমার্ধ:
▪ গরম করার উপাদান (হিটিং কয়েল):
ফার্নেস টিউবের চারপাশে অবস্থিত, সাধারণত রেজিস্ট্যান্স তার দিয়ে তৈরি, ফার্নেস টিউবের ভিতর গরম করতে ব্যবহৃত হয়।
▪ কোয়ার্টজ টিউব:
একটি গরম অক্সিডেশন ফার্নেসের মূল, উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ দিয়ে তৈরি যা উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে এবং রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয় থাকতে পারে।
▪ গ্যাস ফিড:
ফার্নেস টিউবের উপরের বা পাশে অবস্থিত, এটি অক্সিজেন বা অন্যান্য গ্যাসকে ফার্নেস টিউবের ভিতরে পরিবহন করতে ব্যবহৃত হয়।
▪ এসএস ফ্ল্যাঞ্জ:
কোয়ার্টজ টিউব এবং গ্যাস লাইন সংযোগকারী উপাদান, সংযোগের নিবিড়তা এবং স্থায়িত্ব নিশ্চিত করে।
▪ গ্যাস ফিড লাইন:
গ্যাস ট্রান্সমিশনের জন্য গ্যাস সরবরাহ পোর্টের সাথে MFC সংযোগকারী পাইপ।
▪ MFC (ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক):
একটি ডিভাইস যা একটি কোয়ার্টজ টিউবের ভিতরে গ্যাসের প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ করে প্রয়োজনীয় গ্যাসের পরিমাণ সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করে।
▪ ভেন্ট:
ফার্নেস টিউবের ভিতর থেকে সরঞ্জামের বাইরের দিকে নিষ্কাশন গ্যাস বের করার জন্য ব্যবহৃত হয়।
নীচের অংশ:
▪ হোল্ডারে সিলিকন ওয়েফার:
অক্সিডেশনের সময় অভিন্ন তাপ নিশ্চিত করতে সিলিকন ওয়েফারগুলি একটি বিশেষ হোল্ডারে রাখা হয়।
▪ ওয়েফার হোল্ডার:
সিলিকন ওয়েফার ধরে রাখতে এবং প্রক্রিয়া চলাকালীন সিলিকন ওয়েফার স্থিতিশীল থাকে তা নিশ্চিত করতে ব্যবহৃত হয়।
▪ পেডেস্টাল:
একটি কাঠামো যা একটি সিলিকন ওয়েফার হোল্ডার ধারণ করে, সাধারণত একটি উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধী উপাদান দিয়ে তৈরি।
▪ লিফট:
সিলিকন ওয়েফারের স্বয়ংক্রিয় লোডিং এবং আনলোডের জন্য কোয়ার্টজ টিউবগুলির মধ্যে এবং বাইরে ওয়েফার হোল্ডারগুলিকে তুলতে ব্যবহৃত হয়।
▪ ওয়েফার ট্রান্সফার রোবট:
ফার্নেস টিউব ডিভাইসের পাশে অবস্থিত, এটি বাক্স থেকে সিলিকন ওয়েফারটি স্বয়ংক্রিয়ভাবে অপসারণ করতে এবং ফার্নেস টিউবে স্থাপন করতে বা প্রক্রিয়াকরণের পরে এটি সরাতে ব্যবহৃত হয়।
▪ ক্যাসেট স্টোরেজ ক্যারোজেল:
ক্যাসেট স্টোরেজ ক্যারোজেল সিলিকন ওয়েফার ধারণকারী একটি বাক্স সংরক্ষণ করতে ব্যবহৃত হয় এবং রোবট অ্যাক্সেসের জন্য ঘোরানো যেতে পারে।
▪ ওয়েফার ক্যাসেট:
ওয়েফার ক্যাসেটটি প্রক্রিয়াকরণের জন্য সিলিকন ওয়েফার সংরক্ষণ এবং স্থানান্তর করতে ব্যবহৃত হয়।
পোস্টের সময়: এপ্রিল-22-2024