উপরে দেখানো হিসাবে, একটি সাধারণ
প্রথম অর্ধেক:
হিটিং এলিমেন্ট (হিটিং কয়েল): ফার্নেস টিউবের চারপাশে অবস্থিত, সাধারণত রেজিস্ট্যান্স তার দিয়ে তৈরি, ফার্নেস টিউবের ভিতর গরম করতে ব্যবহৃত হয়।
কোয়ার্টজ টিউব: একটি গরম অক্সিডেশন ফার্নেসের মূল, উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ দিয়ে তৈরি যা উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে এবং রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয় থাকতে পারে।
গ্যাস ফিড: ফার্নেস টিউবের উপরের বা পাশে অবস্থিত, এটি অক্সিজেন বা অন্যান্য গ্যাস ফার্নেস টিউবের ভিতরে পরিবহন করতে ব্যবহৃত হয়।
এসএস ফ্ল্যাঞ্জ: উপাদান যা কোয়ার্টজ টিউব এবং গ্যাস লাইন সংযুক্ত করে, সংযোগের নিবিড়তা এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।
গ্যাস ফিড লাইন: পাইপ যা MFC কে গ্যাস সরবরাহ পোর্টের সাথে গ্যাস ট্রান্সমিশনের জন্য সংযুক্ত করে।
MFC (ম্যাস ফ্লো কন্ট্রোলার): একটি ডিভাইস যা একটি কোয়ার্টজ টিউবের ভিতরে গ্যাসের প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ করে যাতে প্রয়োজনীয় গ্যাসের পরিমাণ সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
ভেন্ট: ফার্নেস টিউবের ভিতর থেকে সরঞ্জামের বাইরের দিকে নিষ্কাশন গ্যাস বের করার জন্য ব্যবহৃত হয়।
নিম্নদেশ
হোল্ডারে সিলিকন ওয়েফার: অক্সিডেশনের সময় অভিন্ন তাপ নিশ্চিত করতে সিলিকন ওয়েফারগুলি একটি বিশেষ হোল্ডারে রাখা হয়।
ওয়েফার হোল্ডার: সিলিকন ওয়েফার ধরে রাখতে এবং প্রক্রিয়া চলাকালীন সিলিকন ওয়েফার স্থিতিশীল থাকে তা নিশ্চিত করতে ব্যবহৃত হয়।
পেডেস্টাল: একটি কাঠামো যা একটি সিলিকন ওয়েফার হোল্ডার ধারণ করে, সাধারণত একটি উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধী উপাদান দিয়ে তৈরি।
এলিভেটর: সিলিকন ওয়েফারের স্বয়ংক্রিয় লোডিং এবং আনলোডের জন্য কোয়ার্টজ টিউবগুলির মধ্যে এবং বাইরে ওয়েফার হোল্ডারগুলিকে তুলতে ব্যবহৃত হয়।
ওয়েফার ট্রান্সফার রোবট: ফার্নেস টিউব ডিভাইসের পাশে অবস্থিত, এটি স্বয়ংক্রিয়ভাবে বাক্স থেকে সিলিকন ওয়েফার অপসারণ করতে এবং ফার্নেস টিউবে স্থাপন করতে বা প্রক্রিয়াকরণের পরে এটি সরাতে ব্যবহৃত হয়।
ক্যাসেট স্টোরেজ ক্যারোজেল: ক্যাসেট স্টোরেজ ক্যারোজেল সিলিকন ওয়েফার ধারণকারী একটি বাক্স সংরক্ষণ করতে ব্যবহৃত হয় এবং রোবট অ্যাক্সেসের জন্য ঘোরানো যেতে পারে।
ওয়েফার ক্যাসেট: ওয়েফার ক্যাসেটটি প্রক্রিয়াজাতকরণের জন্য সিলিকন ওয়েফার সংরক্ষণ এবং স্থানান্তর করতে ব্যবহৃত হয়।
পোস্টের সময়: এপ্রিল-22-2024