SiC покритие/графитен субстрат с покритие/тава за полупроводници

Кратко описание:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth е продукт с висока производителност, предназначен да осигури постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Има супер добра устойчивост на топлина и топлинна еднородност, висока чистота, устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на вафли.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

SiC покритие/покритие с графитен ток за полупроводници
 
TheГрафитен субстрат с SiC покритиее изключително издръжливо и ефективно решение, предназначено да отговори на строгите изисквания на индустрията за обработка на полупроводници. Със слой с висока чистотапокритие от силициев карбид (SiC)., този субстрат осигурява изключителна термична стабилност, устойчивост на окисляване и удължен експлоатационен живот, което го прави идеален за приложения в MOCVD процеси, носители на графитни пластини и други среди с висока температура.

 Характеристики: 
· Отлична устойчивост на термичен удар
· Отлична устойчивост на физически удар
· Отлична химическа устойчивост
· Супер висока чистота
· Наличност в комплексна форма
· Може да се използва в окислителна атмосфера

Приложение:

3

Характеристики и предимства на продукта:

1. Превъзходна термична устойчивост:С висока чистотаSiC покритие, субстратът издържа на екстремни температури, осигурявайки постоянна производителност в взискателни среди като епитаксия и производство на полупроводници.

2. Подобрена издръжливост:Графитните компоненти с SiC покритие са проектирани да издържат на химическа корозия и окисляване, като увеличават живота на субстрата в сравнение със стандартните графитни субстрати.

3. Графит със стъкловидно покритие:Уникалната структура на стъкловидното тяло наSiC покритиеосигурява отлична твърдост на повърхността, минимизирайки износването и разкъсването по време на високотемпературна обработка.

4. SiC покритие с висока чистота:Нашият субстрат осигурява минимално замърсяване в чувствителни полупроводникови процеси, предлагайки надеждност за индустрии, които изискват строга чистота на материала.

5. Широко пазарно приложение:TheГрафитен ток с покритие от SiCпазарът продължава да расте, тъй като търсенето на усъвършенствани продукти с SiC покритие в производството на полупроводници се увеличава, позиционирайки този субстрат като ключов играч както на пазара на носители за графитни пластини, така и на пазара на графитни тави с покритие от силициев карбид.

Типични свойства на основния графитен материал:

Видима плътност: 1,85 g/cm3
Електрическо съпротивление: 11 μΩm
Якост на огъване: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Твърдост по Шор: 58
Пепел: <5 ppm
Топлопроводимост: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основни физични свойства на CVD SiCпокритие

性质 / Собственост

典型数值 / Типична стойност

晶体结构 / Кристална структура

FCC β фаза 多晶,主要为(111)取向

密度 / Плътност

3,21 g/cm³

硬度 / Твърдост

2500 维氏硬度(500g товар)

晶粒大小 / Размер на зърното

2~10μm

纯度 / Химическа чистота

99,99995%

热容 / Топлинен капацитет

640 J·kg-1·К-1

升华温度 / Температура на сублимация

2700 ℃

抗弯强度 / Якост на огъване

415 MPa RT 4-точков

杨氏模量 / Модул на Йънг

430 Gpa 4pt завой, 1300 ℃

导热系数 / Топлопроводимост

300W·m-1·К-1

热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy е истинският производител на персонализирани продукти от графит и силициев карбид с различни покрития като SiC покритие, TaC покритие, стъкловъглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и т.н., може да достави различни персонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решения за вас.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-усъвършенствани материали и разработихме изключителна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и субстрата по-плътна и по-малко податлива на отделяне.

Горещо ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека да обсъдим допълнително!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Предишен:
  • следващ:

  • Онлайн чат WhatsApp!