Характеристики:
· Отлична устойчивост на термичен удар
· Отлична устойчивост на физически удар
· Отлична химическа устойчивост
· Супер висока чистота
· Наличност в комплексна форма
· Може да се използва в окислителна атмосфера
Приложение:
Характеристики и предимства на продукта:
1. Превъзходна термична устойчивост:С висока чистотаSiC покритие, субстратът издържа на екстремни температури, осигурявайки постоянна производителност в взискателни среди като епитаксия и производство на полупроводници.
2. Подобрена издръжливост:Графитните компоненти с SiC покритие са проектирани да издържат на химическа корозия и окисляване, като увеличават живота на субстрата в сравнение със стандартните графитни субстрати.
3. Графит със стъкловидно покритие:Уникалната структура на стъкловидното тяло наSiC покритиеосигурява отлична твърдост на повърхността, минимизирайки износването и разкъсването по време на високотемпературна обработка.
4. SiC покритие с висока чистота:Нашият субстрат осигурява минимално замърсяване в чувствителни полупроводникови процеси, предлагайки надеждност за индустрии, които изискват строга чистота на материала.
5. Широко пазарно приложение:TheГрафитен ток с покритие от SiCпазарът продължава да расте, тъй като търсенето на усъвършенствани продукти с SiC покритие в производството на полупроводници се увеличава, позиционирайки този субстрат като ключов играч както на пазара на носители за графитни пластини, така и на пазара на графитни тави с покритие от силициев карбид.
Типични свойства на основния графитен материал:
Видима плътност: | 1,85 g/cm3 |
Електрическо съпротивление: | 11 μΩm |
Якост на огъване: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
Твърдост по Шор: | 58 |
Пепел: | <5 ppm |
Топлопроводимост: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие | |
性质 / Собственост | 典型数值 / Типична стойност |
晶体结构 / Кристална структура | FCC β фаза 多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Плътност | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Твърдост | 2500 维氏硬度(500g товар) |
晶粒大小 / Размер на зърното | 2~10μm |
纯度 / Химическа чистота | 99,99995% |
热容 / Топлинен капацитет | 640 J·kg-1·К-1 |
升华温度 / Температура на сублимация | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Якост на огъване | 415 MPa RT 4-точков |
杨氏模量 / Модул на Йънг | 430 Gpa 4pt завой, 1300 ℃ |
导热系数 / Топлопроводимост | 300W·m-1·К-1 |
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy е истинският производител на персонализирани продукти от графит и силициев карбид с различни покрития като SiC покритие, TaC покритие, стъкловъглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и т.н., може да достави различни персонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия.
Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решения за вас.
Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-усъвършенствани материали и разработихме изключителна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и субстрата по-плътна и по-малко податлива на отделяне.
Горещо ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека да обсъдим допълнително!