SiC покритие/графитен субстрат с покритие/тава за полупроводници

SiC покритие/Покрита графитна подложка/Поставка за полупроводникови Представено изображение

Кратко описание:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth е продукт с висока производителност, предназначен да осигури постоянна и надеждна работа за продължителен период от време.Има супер добра устойчивост на топлина и топлинна еднородност, висока чистота, устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на вафли.

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

SiC покритие/покритие с графитен ток за полупроводници

Graphite Susceptor с SiC покритие е ключов компонент, използван в различни процеси за производство на полупроводници.Използваме нашата патентована технология, за да направим носителя от силициев карбид с изключително висока чистота, добра равномерност на покритието и отличен експлоатационен живот, както и висока химическа устойчивост и термична стабилност.

Характеристика:
· Отлична устойчивост на термичен удар
· Отлична устойчивост на физически удар
· Отлична химическа устойчивост
· Супер висока чистота
· Наличност в комплексна форма
· Може да се използва в окислителна атмосфера

Приложение:

Типични свойства на основния графитен материал:

Видима плътност:	1,85 g/cm3
Електрическо съпротивление:	11 μΩm
Якост на огъване:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Твърдост по Шор:	58
Пепел:	<5 ppm
Топлопроводимост:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Собственост	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза 多晶，主要为（111）取向
密度 / Плътност	3,21 g/cm³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700 ℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модул на Йънг	430 Gpa 4pt завой, 1300 ℃
导热系数 / Топлопроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy е истинският производител на персонализирани продукти от графит и силициев карбид с различни покрития като SiC покритие, TaC покритие, стъкловъглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и т.н., може да достави различни персонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решения за вас.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-усъвършенствани материали и разработихме изключителна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и субстрата по-плътна и по-малко податлива на отделяне.

Горещо ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека да обсъдим допълнително!