Падтрымка графітавых пласцін PECVD

Кароткае апісанне:

Графітавая апора для пласцін VET Energy, распрацаваная для забеспячэння дакладнасці і прадукцыйнасці, з'яўляецца ідэальным матэрыялам для выкарыстання ў перадавой апрацоўцы пласцін, дзе высокая тэрмічная стабільнасць і стабільная прадукцыйнасць вельмі важныя. Незалежна ад таго, працуеце вы з паўправадніковымі пласцінамі або іншымі далікатнымі падкладкамі, гэтая высакаякасная графітная падкладка павысіць надзейнасць працэсу і якасць прадукцыі, што робіць яе незаменным кампанентам сучаснай вытворчасці.

Дашліце нам ліст Спампаваць як PDF

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Графітавая падстаўка для працэсу VET Energy PECVD з'яўляецца асноўным расходным матэрыялам, прызначаным для працэсу PECVD (плазменна ўзмоцненае хімічнае асаджэнне з паравой фазы). Гэты прадукт выраблены з графітавага матэрыялу высокай чысціні высокай шчыльнасці, з выдатнай устойлівасцю да высокіх тэмператур, устойлівасцю да карозіі, стабільнасцю памераў і іншымі характарыстыкамі, можа забяспечыць стабільную апорную платформу для працэсу PECVD, каб забяспечыць аднастайнасць і роўнасць нанясення плёнкі.

Канструкцыя «графітавай апоры» апоры для графітавай пласціны VET Energy можа не толькі эфектыўна падтрымліваць пласціну, але і забяспечваць тэрмічную стабільнасць у асяроддзі высокай тэмпературы і высокага ціску PECVD для забеспячэння стабільнасці працэсу.

Графітавая падкладка працэсу VET Energy PECVD мае наступныя характарыстыкі:

▪Высокая чысціня:надзвычай нізкае ўтрыманне прымешак, каб пазбегнуць забруджвання плёнкі, каб забяспечыць якасць плёнкі.

▪Высокая шчыльнасць:высокая шчыльнасць, высокая механічная трываласць, можа вытрымліваць высокую тэмпературу і высокі ціск асяроддзя PECVD.

▪Добрая стабільнасць памераў:невялікія змены памераў пры высокай тэмпературы для забеспячэння стабільнасці працэсу.

▪Выдатная цеплаправоднасць:эфектыўна перадаваць цяпло, каб прадухіліць перагрэў пласцін.

▪Моцная ўстойлівасць да карозіі:Здольны супрацьстаяць эрозіі рознымі агрэсіўнымі газамі і плазмай.

▪Індывідуальны сэрвіс:Графітавыя апорныя сталы розных памераў і формаў можна наладзіць у адпаведнасці з патрэбамі кліента.

Графітавы матэрыял ад SGL:

Тыповы параметр: R6510
Паказальнік	Тэставы стандарт	Каштоўнасць	адзінка
Сярэдняя зярністасць	ISO 13320	10	мкм
Насыпная шчыльнасць	DIN IEC 60413/204	1,83	г/см³
Адкрытая сітаватасць	DIN66133	10	%
Сярэдні памер пор	DIN66133	1.8	мкм
Пранікальнасць	DIN 51935	0,06	см²/с
Цвёрдасць па Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удзельнае электрычнае супраціўленне	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Трываласць на выгіб	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Трываласць на сціск	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Цеплавое пашырэнне (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Цеплаправоднасць (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ён спецыяльна распрацаваны для высокаэфектыўнай вытворчасці сонечных батарэй, падтрымліваючы апрацоўку пласцін вялікага памеру G12. Аптымізаваная канструкцыя носьбіта значна павялічвае прапускную здольнасць, забяспечваючы больш высокую рэнтабельнасць і меншыя вытворчыя выдаткі.

Пункт	Тып	Нумар вафельны носьбіт
Лодка PEVCD Grephite - серыя 156	156-13 грэфітавая лодка	144
	156-19 грэфітавая лодка	216
	156-21 грэфітавая лодка	240
	156-23 графітавы човен	308
Лодка PEVCD Grephite - серыя 125	125-15 грэфітавая лодка	196
	125-19 грэфітавая лодка	252
	125-21 грфітавая лодка	280