Графітавая вафельная лодка VET Energy - гэта высакаякасны расходны матэрыял, прызначаны для працэсаў нанясення ў паўправадніковай, фотаэлектрычнай і іншых галінах прамысловасці. Выраблены з графітавага матэрыялу высокай чысціні і высокай шчыльнасці, гэты прадукт валодае выдатнай устойлівасцю да высокіх тэмператур, устойлівасцю да карозіі, стабільнасцю памераў і іншымі характарыстыкамі і можа забяспечыць стабільную апорную платформу для працэсу нанясення, каб забяспечыць аднастайнасць і роўнасць нанясення тонкай плёнкі. .
Графітавая лодка PECVD ад VET Energy выраблена з ізастатычнага графіту высокай чысціні, сітаватасць ніжэй за 15 % і шурпатасць паверхні Ra≤1,6 мкм. Найвышэйшая стабільнасць памераў і цеплаправоднасць забяспечваюць раўнамернае нанясенне плёнкі і павышаную эфектыўнасць клетак.
Графітавы матэрыял ад SGL:
Тыповы параметр: R6510 | |||
Паказальнік | Тэставы стандарт | Каштоўнасць | адзінка |
Сярэдняя зярністасць | ISO 13320 | 10 | мкм |
Насыпная шчыльнасць | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | г/см3 |
Адкрытая сітаватасць | DIN66133 | 10 | % |
Сярэдні памер пор | DIN66133 | 1.8 | мкм |
Пранікальнасць | DIN 51935 | 0,06 | см²/с |
Цвёрдасць па Роквеллу HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Удзельнае электрычнае супраціўленне | DIN IEC 60413/402 | 13 | мкОм |
Трываласць на выгіб | DIN IEC 60413/501 | 60 | МПа |
Трываласць на сціск | DIN 51910 | 130 | МПа |
Модуль Юнга | DIN 51915 | 11,5×10³ | МПа |
Цеплавое пашырэнне (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Цеплаправоднасць (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ён спецыяльна распрацаваны для высокаэфектыўнай вытворчасці сонечных батарэй, падтрымліваючы апрацоўку пласцін вялікага памеру G12. Аптымізаваная канструкцыя носьбіта значна павялічвае прапускную здольнасць, забяспечваючы больш высокую рэнтабельнасць і меншыя вытворчыя выдаткі.
Пункт | Тып | Нумар вафельны носьбіт |
Лодка PEVCD Grephite - серыя 156 | 156-13 грэфітавая лодка | 144 |
156-19 грэфітавая лодка | 216 | |
156-21 грэфітавая лодка | 240 | |
156-23 графітавы човен | 308 | |
Лодка PEVCD Grephite - серыя 125 | 125-15 грэфітавая лодка | 196 |
125-19 грэфітавая лодка | 252 | |
125-21 грфітавая лодка | 280 |