Графітавы латок для загрузкі PECVD

Графітавы латок для нанясення загрузкі PECVD Прадстаўленая выява

Кароткае апісанне:

Загрузны латок PECVD ад VET Energy прызначаны для забеспячэння бяспечнай і роўнай падтрымкі пласцін падчас нанясення, паляпшаючы паслядоўнасць і якасць працэсу нанясення. Дзякуючы выдатнай тэрмаўстойлівасці графітавы латок дапамагае падтрымліваць кантраляванае асяроддзе ўнутры камер PECVD, зніжаючы рызыку забруджвання і забяспечваючы высокую эфектыўнасць працэсу.

Дашліце нам ліст Спампаваць як PDF

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Загрузачны латок VET Energy PECVD - гэта дакладны носьбіт, прызначаны для працэсу PECVD (плазменнае хімічнае асаджэнне з паравой фазы). Гэты высакаякасны графітавы латок выраблены з графітавага матэрыялу высокай чысціні і высокай шчыльнасці. Ён валодае выдатнай устойлівасцю да высокіх тэмператур, устойлівасцю да карозіі, стабільнасцю памераў і іншымі характарыстыкамі. Ён можа забяспечыць стабільную платформу-носьбіт для працэсу PECVD і забяспечыць аднастайнасць і роўнасць нанясення плёнкі.

Загрузачныя латкі VET Energy PECVD шырока выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых, фотаэлектрычных, святлодыёдных і іншых галінах. Напрыклад:

▪ Паўправаднік: працэс PECVD для паўправадніковых матэрыялаў, такіх як крамянёвыя пласціны і эпітаксіяльныя пласціны.

▪ Фотаэлектрыка: працэс PECVD для тонкіх плёнак сонечных батарэй.

▪ LED: працэс PECVD для святлодыёдных чыпаў.

Перавагі прадукту

▪Палепшыць якасць фільма:Забяспечце раўнамернае нанясенне плёнкі і палепшыце якасць плёнкі.

▪Павялічыць тэрмін службы абсталявання:Выдатная ўстойлівасць да карозіі, падоўжыць тэрмін службы абсталявання PECVD.

▪Знізіць вытворчыя выдаткі:Высакаякасныя графітавыя латкі могуць знізіць узровень лому і знізіць вытворчыя выдаткі.

Графітавы матэрыял ад SGL:

Тыповы параметр: R6510
Паказальнік	Тэставы стандарт	Каштоўнасць	адзінка
Сярэдняя зярністасць	ISO 13320	10	мкм
Насыпная шчыльнасць	DIN IEC 60413/204	1,83	г/см³
Адкрытая сітаватасць	DIN66133	10	%
Сярэдні памер пор	DIN66133	1.8	мкм
Пранікальнасць	DIN 51935	0,06	см²/с
Цвёрдасць па Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удзельнае электрычнае супраціўленне	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Трываласць на выгіб	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Трываласць на сціск	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Цеплавое пашырэнне (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Цеплаправоднасць (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ён спецыяльна распрацаваны для высокаэфектыўнай вытворчасці сонечных батарэй, падтрымліваючы апрацоўку пласцін вялікага памеру G12. Аптымізаваная канструкцыя носьбіта значна павялічвае прапускную здольнасць, забяспечваючы больш высокую рэнтабельнасць і меншыя вытворчыя выдаткі.

Пункт	Тып	Нумар вафельны носьбіт
Лодка PEVCD Grephite - серыя 156	156-13 грэфітавая лодка	144
	156-19 грэфітавая лодка	216
	156-21 грэфітавая лодка	240
	156-23 графітавы човен	308
Лодка PEVCD Grephite - серыя 125	125-15 грэфітавая лодка	196
	125-19 грэфітавая лодка	252
	125-21 грфітавая лодка	280