Графітавы носьбіт для працэсу PECVD

Графіт-носьбіт для працэсу PECVD Прадстаўленая выява

Кароткае апісанне:

ПТВ энергетыкіГрафітавая лодка PECVD для сонечных панэляў - гэта ўдасканалены кампанент, распрацаваны спецыяльна для вытворчасці высокаэфектыўных сонечных панэляў. Гэтая графітавая лодка, якая выкарыстоўваецца ў працэсах плазменнага хімічнага нанясення з паравой фазы (PECVD), забяспечвае аптымальную апрацоўку матэрыялаў і раўнамернае нанясенне тонкіх плёнак на сонечныя элементы. Распрацаваны для дакладнасці і даўгавечнасці, ён забяспечвае выдатную цеплаправоднасць, высокую ўстойлівасць да карозіі і мінімальнае забруджванне, што вельмі важна для вытворчасці эфектыўных высакаякасных сонечных панэляў.

Дашліце нам ліст Спампаваць як PDF

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

ПТВ энергетыкіГрафітавы носьбіт працэсу PECVD - гэта высакаякасны расходны матэрыял, прызначаны для працэсу PECVD (плазменна-ўзмацняльнае хімічнае асаджэнне з паравай фазы). Гэты графітавы носьбіт выраблены з графітавага матэрыялу высокай чысціні і высокай шчыльнасці, з выдатнай устойлівасцю да высокіх тэмператур, каразійнай устойлівасцю, стабільнасцю памераў і іншымі характарыстыкамі, можа забяспечыць стабільную платформу-носьбіт для працэсу PECVD, каб забяспечыць аднастайнасць і роўнасць тонкай плёнкі. адклад.

Графітавыя носьбіты для працэсу PECVD маюць наступныя характарыстыкі:

▪ Высокая чысціня: надзвычай нізкае ўтрыманне прымешак, пазбяганне забруджвання плёнкі і забеспячэнне якасці плёнкі.

▪ Высокая шчыльнасць: высокая шчыльнасць, высокая механічная трываласць, здольная вытрымліваць высокую тэмпературу і высокі ціск PECVD асяроддзя.

▪ Добрая стабільнасць памераў: невялікія змены памераў пры высокай тэмпературы, што забяспечвае стабільнасць працэсу.

▪ Выдатная цеплаправоднасць: эфектыўная перадача цяпла, каб прадухіліць перагрэў пласцін.

▪ Моцная ўстойлівасць да карозіі: здольная супрацьстаяць эрозіі рознымі агрэсіўнымі газамі і плазмай.

▪ Індывідуальныя паслугі: графітавыя носьбіты розных памераў і форм могуць быць настроены ў адпаведнасці з патрэбамі кліента.

Графітавы матэрыял ад SGL:

Тыповы параметр: R6510
Паказальнік	Тэставы стандарт	Каштоўнасць	адзінка
Сярэдняя зярністасць	ISO 13320	10	мкм
Насыпная шчыльнасць	DIN IEC 60413/204	1,83	г/см³
Адкрытая сітаватасць	DIN66133	10	%
Сярэдні памер пор	DIN66133	1.8	мкм
Пранікальнасць	DIN 51935	0,06	см²/с
Цвёрдасць па Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удзельнае электрычнае супраціўленне	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Трываласць на выгіб	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Трываласць на сціск	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Цеплавое пашырэнне (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Цеплаправоднасць (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ён спецыяльна распрацаваны для высокаэфектыўнай вытворчасці сонечных батарэй, падтрымліваючы апрацоўку пласцін вялікага памеру G12. Аптымізаваная канструкцыя носьбіта значна павялічвае прапускную здольнасць, забяспечваючы больш высокую рэнтабельнасць і меншыя вытворчыя выдаткі.

Пункт	Тып	Нумар вафельны носьбіт
Лодка PEVCD Grephite - серыя 156	156-13 грэфітавая лодка	144
	156-19 грэфітавая лодка	216
	156-21 грэфітавая лодка	240
	156-23 графітавы човен	308
Лодка PEVCD Grephite - серыя 125	125-15 грэфітавая лодка	196
	125-19 грэфітавая лодка	252
	125-21 грфітавая лодка	280