PECVD Yükləmə Tablası Depozit Qrafit Tabağı

PECVD Yükləmə Tablası Depozit Qrafit Tablası Xüsusi Şəkil

Qısa təsvir:

VET Energy-nin PECVD Yükləmə Tablosu çökmə prosesinin ardıcıllığını və keyfiyyətini yaxşılaşdıraraq, çökdürmə zamanı vaflilərə təhlükəsiz və bərabər dəstək vermək üçün nəzərdə tutulmuşdur. Mükəmməl istilik müqaviməti ilə Qrafit Tabağı PECVD kameralarının içərisində idarə olunan mühiti saxlamağa kömək edir, çirklənmə riskini azaldır və yüksək proses səmərəliliyini təmin edir.

Bizə e-poçt göndərin PDF olaraq yükləyin

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

VET Energy PECVD yükləmə qabı PECVD (plazma gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökmə) prosesi üçün nəzərdə tutulmuş dəqiq daşıyıcıdır. Bu yüksək keyfiyyətli çökmə qrafit qabı yüksək təmizlikli, yüksək sıxlıqlı qrafit materialından hazırlanmışdır. Əla yüksək temperatur müqavimətinə, korroziyaya davamlılığa, ölçülü sabitliyə və digər xüsusiyyətlərə malikdir. PECVD prosesi üçün sabit bir daşıyıcı platforma təmin edə bilər və film çöküntüsünün vahidliyini və düzlüyünü təmin edə bilər.

VET Energy PECVD yükləmə qabları yarımkeçirici, fotovoltaik, LED və digər sahələrdə geniş istifadə olunur. Məsələn:

▪ Yarımkeçirici: silikon vafli və epitaksial vafli kimi yarımkeçirici materiallar üçün PECVD prosesi.

▪ Fotovoltaik: Günəş batareyasının nazik təbəqələri üçün PECVD prosesi.

▪ LED: LED çipləri üçün PECVD prosesi.

Məhsulun Üstünlükləri

▪Film keyfiyyətini yaxşılaşdırın:Filmin vahid çöküntüsünü təmin edin və film keyfiyyətini yaxşılaşdırın.

▪Avadanlığın ömrünü uzatmaq:Əla korroziya müqaviməti, PECVD avadanlıqlarının xidmət müddətini uzatmaq.

▪İstehsal xərclərini azaldın:Yüksək keyfiyyətli qrafit qablar hurda nisbətini azalda və istehsal xərclərini azalda bilər.

SGL-dən qrafit materialı:

Tipik parametr: R6510
indeks	Test standartı	Dəyər	Vahid
Orta taxıl ölçüsü	ISO 13320	10	μm
Kütləvi sıxlıq	DIN IEC 60413/204	1.83	q/sm³
Açıq gözeneklilik	DIN66133	10	%
Orta məsamə ölçüsü	DIN66133	1.8	μm
keçiricilik	DIN 51935	0,06	sm²/s
Rockwell sərtliyi HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Xüsusi elektrik müqaviməti	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bükülmə gücü	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Sıxılma gücü	DIN 51910	130	MPa
Young modulu	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termal genişlənmə (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
İstilik keçiriciliyi (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

O, xüsusi olaraq G12 böyük ölçülü vafli emalını dəstəkləyən yüksək səmərəli günəş batareyası istehsalı üçün nəzərdə tutulmuşdur. Optimallaşdırılmış daşıyıcı dizaynı ötürmə qabiliyyətini əhəmiyyətli dərəcədə artırır, daha yüksək gəlir dərəcələri və aşağı istehsal xərclərinə imkan verir.

Maddə	Növ	Nömrə vafli daşıyıcısı
PEVCD Grephite qayıq - 156 seriyası	156-13 qrefit qayıq	144
	156-19 qrefit qayıq	216
	156-21 qrefit qayıq	240
	156-23 qrafit qayıq	308
PEVCD Grephite qayıq - 125 seriyası	125-15 qrefit qayıq	196
	125-19 qrefit qayıq	252
	125-21 qfit qayıq	280