VET Energy PECVD prosesi qrafit vafli dəstəyi PECVD (plazma gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökmə) prosesi üçün nəzərdə tutulmuş əsas istehlak materialıdır. Bu məhsul yüksək təmizlikli, yüksək sıxlıqlı qrafit materialdan hazırlanmışdır, əla yüksək temperatur müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, ölçülü sabitlik və digər xüsusiyyətlərə malikdir, film çöküntüsünün vahidliyini və düzlüyünü təmin etmək üçün PECVD prosesi üçün sabit bir dəstək platforması təmin edə bilər.
VET Energy qrafit vafli dəstəyinin "qrafit dəstəyi" dizaynı yalnız vaflini effektiv şəkildə dəstəkləməklə yanaşı, prosesin sabitliyini təmin etmək üçün yüksək temperatur və yüksək təzyiqli PECVD mühitində istilik sabitliyini təmin edə bilər.
VET Energy PECVD prosesi qrafit vafli dəstəyi aşağıdakı xüsusiyyətlərə malikdir:
▪Yüksək təmizlik:son dərəcə aşağı çirk tərkibi, filmin keyfiyyətini təmin etmək üçün filmin çirklənməsinin qarşısını almaq.
▪Yüksək sıxlıq:yüksək sıxlıq, yüksək mexaniki güc, yüksək temperatur və yüksək təzyiq PECVD mühitinə tab gətirə bilər.
▪Yaxşı ölçülü sabitlik:prosesin sabitliyini təmin etmək üçün yüksək temperaturda kiçik ölçülü dəyişikliklər.
▪Əla istilik keçiriciliyi:vaflinin həddindən artıq istiləşməsinin qarşısını almaq üçün istiliyi effektiv şəkildə köçürün.
▪Güclü korroziya müqaviməti:Müxtəlif aşındırıcı qazlar və plazma ilə eroziyaya qarşı dura bilir.
▪Fərdi xidmət:Müxtəlif ölçülü və formalı qrafit dəstək masaları müştəri ehtiyaclarına uyğun olaraq fərdiləşdirilə bilər.
SGL-dən qrafit materialı:
Tipik parametr: R6510 | |||
indeks | Test standartı | Dəyər | Vahid |
Orta taxıl ölçüsü | ISO 13320 | 10 | μm |
Kütləvi sıxlıq | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | q/sm3 |
Açıq gözeneklilik | DIN66133 | 10 | % |
Orta məsamə ölçüsü | DIN66133 | 1.8 | μm |
keçiricilik | DIN 51935 | 0,06 | sm²/s |
Rockwell sərtliyi HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Xüsusi elektrik müqaviməti | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Bükülmə gücü | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Sıxılma gücü | DIN 51910 | 130 | MPa |
Young modulu | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Termal genişlənmə (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
İstilik keçiriciliyi (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
O, xüsusi olaraq G12 böyük ölçülü vafli emalını dəstəkləyən yüksək səmərəli günəş batareyası istehsalı üçün nəzərdə tutulmuşdur. Optimallaşdırılmış daşıyıcı dizaynı ötürmə qabiliyyətini əhəmiyyətli dərəcədə artırır, daha yüksək gəlir dərəcələri və aşağı istehsal xərclərinə imkan verir.
Maddə | Növ | Nömrə vafli daşıyıcısı |
PEVCD Grephite qayıq - 156 seriyası | 156-13 qrefit qayıq | 144 |
156-19 qrefit qayıq | 216 | |
156-21 qrefit qayıq | 240 | |
156-23 qrafit qayıq | 308 | |
PEVCD Grephite qayıq - 125 seriyası | 125-15 qrefit qayıq | 196 |
125-19 qrefit qayıq | 252 | |
125-21 qfit qayıq | 280 |