VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) prosesi üçün nəzərdə tutulmuş dəqiq daşıyıcıdır. Bu yüksək keyfiyyətli Qrafit Substrat Tutacağı əla yüksək temperatur müqaviməti, korroziyaya davamlılıq, ölçü sabitliyi və digər xüsusiyyətlərə malik yüksək təmizlik, yüksək sıxlıqlı qrafit materialdan hazırlanmışdır. PECVD prosesi üçün sabit bir dəstək platforması təmin edə bilər və film çöküntüsünün vahidliyini və düzlüyünü təmin edə bilər.
VET Energy PECVD prosesi qrafit vafli dəstək masası aşağıdakı xüsusiyyətlərə malikdir:
▪Yüksək təmizlik:son dərəcə aşağı çirklilik, filmin çirklənməsinin qarşısını almaq, film keyfiyyətini təmin etmək.
▪Yüksək sıxlıq:yüksək sıxlıq, yüksək mexaniki güc, yüksək temperatur və yüksək təzyiq PECVD mühitinə tab gətirə bilər.
▪Yaxşı ölçülü sabitlik:yüksək temperaturda kiçik ölçülü dəyişmə, prosesin sabitliyini təmin edir.
▪Əla istilik keçiriciliyi:vaflinin həddindən artıq istiləşməsinin qarşısını almaq üçün istiliyi effektiv şəkildə köçürün.
▪Güclü korroziya müqaviməti:müxtəlif aşındırıcı qazlar və plazma ilə eroziyaya qarşı dura bilir.
▪Fərdi xidmət:müxtəlif ölçülü və formalı qrafit dəstək masaları müştəri ehtiyaclarına uyğun olaraq düzəldilə bilər.
Məhsulun Üstünlükləri
▪Film keyfiyyətini yaxşılaşdırın:Filmin vahid çöküntüsünü təmin edin və film keyfiyyətini yaxşılaşdırın.
▪Avadanlığın ömrünü uzatmaq:Əla korroziya müqaviməti, PECVD avadanlıqlarının xidmət müddətini uzatmaq.
▪İstehsal xərclərini azaldın:Yüksək keyfiyyətli qrafit qablar hurda nisbətini azalda və istehsal xərclərini azalda bilər.
SGL-dən qrafit materialı:
| Tipik parametr: R6510 | |||
| indeks | Test standartı | Dəyər | Vahid |
| Orta taxıl ölçüsü | ISO 13320 | 10 | μm |
| Kütləvi sıxlıq | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | q/sm3 |
| Açıq gözeneklilik | DIN66133 | 10 | % |
| Orta məsamə ölçüsü | DIN66133 | 1.8 | μm |
| keçiricilik | DIN 51935 | 0,06 | sm²/s |
| Rockwell sərtliyi HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Xüsusi elektrik müqaviməti | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bükülmə gücü | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Sıxılma gücü | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young modulu | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termal genişlənmə (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| İstilik keçiriciliyi (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
O, xüsusi olaraq G12 böyük ölçülü vafli emalını dəstəkləyən yüksək səmərəli günəş batareyası istehsalı üçün nəzərdə tutulmuşdur. Optimallaşdırılmış daşıyıcı dizaynı ötürmə qabiliyyətini əhəmiyyətli dərəcədə artırır, daha yüksək gəlir dərəcələri və aşağı istehsal xərclərinə imkan verir.
| Maddə | Növ | Nömrə vafli daşıyıcısı |
| PEVCD Grephite qayıq - 156 seriyası | 156-13 qrefit qayıq | 144 |
| 156-19 qrefit qayıq | 216 | |
| 156-21 qrefit qayıq | 240 | |
| 156-23 qrafit qayıq | 308 | |
| PEVCD Grephite qayıq - 125 seriyası | 125-15 qrefit qayıq | 196 |
| 125-19 qrefit qayıq | 252 | |
| 125-21 qfit qayıq | 280 |
