Sperma üçünbiznes xəbərləri, yarımkeçiricilərin istehsalının mükəmməlliyini başa düşmək zəruridir. yarımkeçirici vafli bu sənayedə mühüm komponentdir, lakin onlar tez-tez müxtəlif çirklərdən çirklənmə ilə üzləşirlər. Atom, üzvi maddələr, metal element ionu və oksidi əhatə edən bu çirkləndiricilər istehsal prosesinə təsir göstərə bilər.
hissəciklərvafli səthində adsorbsiya etmək üçün molekullararası qüvvəyə polimer və aşındırma çirkləri etibarı, cihaz fotolitoqrafiyasına təsir göstərir.üzvi çirklərhomo dəri yağı və maşın yağı kimi vafli üzərində film meydana gətirir, təmizlənməyə mane olur.metal element ionlarıdəmir və alüminium kimi tez-tez metal element ion kompleksinin formalaşması yolu ilə çıxarılır.Oksidləristehsal prosesinə mane olur və adətən seyreltilmiş hidrofluorik turşuda islatmaqla çıxarılır.
kimyəvi üsullaradətən yarımkeçirici vafli təmizləmək və silkələmək üçün istifadə olunur. məhlulun batırılması və mexaniki ovucu kimi nəm kimyəvi təmizləmə texnikası üstünlük təşkil edir. səsdən sürətli və meqasəs təmizləmə üsulu çirkləri təmizləmək üçün səmərəli yollar təklif edir. quru kimyəvi təmizləmə, plazma və qaz faza texnologiyası daxildir, həmçinin yarımkeçirici vafli təmizləmə proseslərində də funksiya oynayır.
Göndərmə vaxtı: 29 oktyabr 2024-cü il