Yuxarıda göstərildiyi kimi, tipikdir
Birinci yarı:
İstilik Elementi (isitmə bobini) : soba borusu ətrafında yerləşir, adətən müqavimət tellərindən hazırlanır, soba borusunun içini qızdırmaq üçün istifadə olunur.
Kvars borusu: Yüksək temperaturlara tab gətirə bilən və kimyəvi cəhətdən təsirsiz qalan yüksək təmizlikli kvarsdan hazırlanmış isti oksidləşmə sobasının nüvəsi.
Qaz yemi: Ocaq borusunun yuxarı və ya yan tərəfində yerləşir, oksigen və ya digər qazları soba borusunun içərisinə daşımaq üçün istifadə olunur.
SS Flanş: kvars boruları və qaz xətlərini birləşdirən, birləşmənin möhkəmliyini və dayanıqlığını təmin edən komponentlər.
Qaz təchizatı xətləri: MFC-ni qazın ötürülməsi üçün qaz təchizatı limanına birləşdirən borular.
MFC (Mass Flow Controller) : Tələb olunan qazın miqdarını dəqiq tənzimləmək üçün kvars borusu daxilində qaz axınına nəzarət edən cihaz.
Havalandırma: İşlənmiş qazı soba borusunun içərisindən avadanlığın xaricinə çıxarmaq üçün istifadə olunur.
Aşağı hissə
Tutucuda Silikon Vaflilər: Oksidləşmə zamanı vahid istiliyi təmin etmək üçün silikon vafli xüsusi Tutucuda yerləşdirilir.
Gofret Tutacağı: Silikon vaflini saxlamaq və proses zamanı silikon vaflinin sabit qalmasını təmin etmək üçün istifadə olunur.
Piyada: Adətən yüksək temperatura davamlı materialdan hazırlanmış silikon vafli Tutacağı olan struktur.
Lift: Silikon vaflilərin avtomatik yüklənməsi və boşaldılması üçün vafli tutucuları kvars borulara daxil etmək və çıxarmaq üçün istifadə olunur.
Wafer Transfer Robot: soba borusu cihazının yan tərəfində yerləşir, o, avtomatik olaraq qutudan silikon vafli çıxarmaq və soba borusuna yerləşdirmək və ya emaldan sonra çıxarmaq üçün istifadə olunur.
Kaset Saxlama Karuseli: Kaset saxlama karuseli silikon vafliləri olan qutuyu saxlamaq üçün istifadə olunur və robota daxil olmaq üçün döndərilə bilər.
Gofret Kaseti: vafli kaset emal ediləcək silikon vafliləri saxlamaq və köçürmək üçün istifadə olunur.
Göndərmə vaxtı: 22 aprel 2024-cü il