Yuxarıda göstərildiyi kimi, tipikdir
Birinci yarı:
▪ İstilik elementi (qızdırma bobini):
soba borusu ətrafında yerləşən, adətən müqavimət tellərindən hazırlanır, soba borusunun içini qızdırmaq üçün istifadə olunur.
▪ Kvars borusu:
Yüksək temperaturlara tab gətirə bilən və kimyəvi cəhətdən təsirsiz qalan yüksək təmizlikli kvarsdan hazırlanmış isti oksidləşmə sobasının nüvəsi.
▪ Qaz təchizatı:
Ocaq borusunun yuxarı və ya yan tərəfində yerləşir, oksigen və ya digər qazları soba borusunun içərisinə daşımaq üçün istifadə olunur.
▪ SS Flanş:
kvars borularını və qaz xətlərini birləşdirən, birləşmənin möhkəmliyini və sabitliyini təmin edən komponentlər.
▪ Qaz təchizatı xətləri:
MFC-ni qazın ötürülməsi üçün qaz təchizatı portuna birləşdirən borular.
▪ MFC (Mass Flow Controller) :
Tələb olunan qazın miqdarını dəqiq tənzimləmək üçün kvars borusu içərisində qaz axınına nəzarət edən cihaz.
▪ Havalandırma:
Egzoz qazını soba borusunun içərisindən avadanlığın xaricinə çıxarmaq üçün istifadə olunur.
Aşağı hissə:
▪ Tutucuda Silikon Vaflilər:
Silikon vafli oksidləşmə zamanı vahid istiliyi təmin etmək üçün xüsusi Tutucuda yerləşdirilir.
▪ Gofret Tutacağı:
Silikon vaflini tutmaq və proses zamanı silikon vaflinin sabit qalmasını təmin etmək üçün istifadə olunur.
▪ Altlıq:
Adətən yüksək temperatura davamlı materialdan hazırlanmış silikon vafli Tutacağı olan struktur.
▪ Lift:
Silikon vaflilərin avtomatik yüklənməsi və boşaldılması üçün vafli tutacaqları kvars borulara daxil etmək və çıxarmaq üçün istifadə olunur.
▪ Wafer Transfer Robot:
soba borusu cihazının yan tərəfində yerləşir, o, avtomatik olaraq qutudan silisium vaflisini çıxarmaq və soba borusuna yerləşdirmək və ya emaldan sonra çıxarmaq üçün istifadə olunur.
▪ Kaset saxlama karuseli:
Kaset saxlama karuseli silikon vafliləri olan qutunun saxlanması üçün istifadə olunur və robota daxil olmaq üçün döndərilə bilər.
▪ Gofret Kaseti:
vafli kaset emal ediləcək silikon vafliləri saxlamaq və köçürmək üçün istifadə olunur.
Göndərmə vaxtı: 22 aprel 2024-cü il