Yarımkeçiricilərin istehsalında iştirak etmək üçün bəzi üzvi və qeyri-üzvi maddələr tələb olunur. Bundan əlavə, proses həmişə insanın iştirakı ilə təmiz bir otaqda həyata keçirildiyi üçün yarımkeçiricivafliistər-istəməz müxtəlif çirkləri ilə çirklənir.
Çirkləndiricilərin mənbəyinə və təbiətinə görə, onları təxminən dörd kateqoriyaya bölmək olar: hissəciklər, üzvi maddələr, metal ionları və oksidlər.
1. Hissəciklər:
Hissəciklər əsasən bəzi polimerlər, fotorezistlər və aşındırıcı çirklərdir.
Belə çirkləndiricilər adətən vaflinin səthində adsorbsiya üçün molekullararası qüvvələrə əsaslanır, həndəsi fiqurların formalaşmasına və cihazın fotolitoqrafiya prosesinin elektrik parametrlərinə təsir göstərir.
Belə çirkləndiricilər əsasən onların səthi ilə təmas sahəsini tədricən azaltmaqla çıxarılırgofretfiziki və ya kimyəvi üsullarla.
2. Üzvi maddələr:
Üzvi çirklərin mənbələri nisbətən genişdir, məsələn, insan dərisi yağı, bakteriya, maşın yağı, vakuum yağı, fotorezist, təmizləyici həlledicilər və s.
Belə çirkləndiricilər adətən vaflinin səthində təmizləyici mayenin vaflinin səthinə çatmasının qarşısını almaq üçün üzvi təbəqə əmələ gətirir və nəticədə vafli səthinin natamam təmizlənməsinə səbəb olur.
Belə çirkləndiricilərin çıxarılması çox vaxt təmizləmə prosesinin ilk mərhələsində, əsasən kükürd turşusu və hidrogen peroksid kimi kimyəvi üsullardan istifadə etməklə həyata keçirilir.
3. Metal ionları:
Ümumi metal çirkləri dəmir, mis, alüminium, xrom, çuqun, titan, natrium, kalium, litium və s.
Bu cür çirklər tez-tez metal ion komplekslərinin əmələ gəlməsi ilə kimyəvi üsullarla çıxarılır.
4. Oksid:
Yarımkeçirici olduqdavaflioksigen və su olan bir mühitə məruz qaldıqda, səthdə təbii bir oksid təbəqəsi meydana gələcək. Bu oksid filmi yarımkeçiricilərin istehsalında bir çox proseslərə mane olacaq və həmçinin müəyyən metal çirkləri ehtiva edəcək. Müəyyən şərtlər altında onlar elektrik qüsurları meydana gətirəcəklər.
Bu oksid filminin çıxarılması tez-tez seyreltilmiş hidrofluorik turşuda islatmaqla tamamlanır.
Ümumi təmizləmə ardıcıllığı
Yarımkeçiricinin səthində adsorbsiya olunan çirklərvafliüç növə bölmək olar: molekulyar, ionik və atomik.
Onların arasında molekulyar çirklər və vaflinin səthi arasında adsorbsiya qüvvəsi zəifdir və bu tip çirkli hissəcikləri çıxarmaq nisbətən asandır. Onlar əsasən hidrofobik xüsusiyyətlərə malik yağlı çirklərdir, yarımkeçirici plastinaların səthini çirkləndirən ion və atom çirkləri üçün maskalanmağı təmin edə bilər ki, bu da bu iki növ çirkin çıxarılması üçün əlverişli deyil. Buna görə də, yarımkeçirici vafliləri kimyəvi üsulla təmizləyərkən ilk növbədə molekulyar çirkləri çıxarmaq lazımdır.
Buna görə də yarımkeçiricinin ümumi prosedurugofrettəmizləmə prosesi belədir:
De-molekulyarizasiya-deionizasiya-de-atomizasiya-deionlaşdırılmış suyun yuyulması.
Bundan əlavə, vaflinin səthindəki təbii oksid təbəqəsini çıxarmaq üçün seyreltilmiş amin turşusu islatma mərhələsi əlavə edilməlidir. Buna görə də təmizləmə ideyası ilk növbədə səthdəki üzvi çirklənməni aradan qaldırmaqdır; sonra oksid qatını həll edin; nəhayət hissəcikləri və metal çirklənməni çıxarın və eyni zamanda səthi passivləşdirin.
Ümumi təmizləmə üsulları
Yarımkeçirici vaflilərin təmizlənməsi üçün tez-tez kimyəvi üsullardan istifadə olunur.
Kimyəvi təmizləmə, çirkləri desorbsiya etmək üçün vaflinin səthindəki çirkləri və yağ ləkələrini reaksiyaya vermək və ya həll etmək üçün müxtəlif kimyəvi reagentlərdən və üzvi həlledicilərdən istifadə etmə prosesinə aiddir və sonra yüksək təmizlikdə isti və soyuq deionlaşdırılmış su ilə çox miqdarda yuyulur. təmiz səth.
Kimyəvi təmizləmə yaş kimyəvi təmizləmə və quru kimyəvi təmizləməyə bölünə bilər ki, bunlar arasında yaş kimyəvi təmizləmə hələ də üstünlük təşkil edir.
Yaş kimyəvi təmizləmə
1. Yaş kimyəvi təmizləmə:
Yaş kimyəvi təmizləmə əsasən məhlulun batırılması, mexaniki ovucu, ultrasəs təmizləmə, meqasəs təmizləmə, fırlanan çiləmə və s.
2. Məhlulun daldırılması:
Məhlulun batırılması, vafli kimyəvi məhlula batırmaqla səthin çirklənməsinin aradan qaldırılması üsuludur. Yaş kimyəvi təmizləmədə ən çox istifadə edilən üsuldur. Gofretin səthində müxtəlif növ çirkləndiriciləri çıxarmaq üçün müxtəlif məhlullardan istifadə edilə bilər.
Adətən, bu üsul vaflinin səthindəki çirkləri tamamilə təmizləyə bilmir, buna görə də suya batırarkən tez-tez qızdırma, ultrasəs və qarışdırma kimi fiziki tədbirlərdən istifadə olunur.
3. Mexanik təmizləmə:
Mexanik ovma tez-tez vafli səthindəki hissəcikləri və ya üzvi qalıqları çıxarmaq üçün istifadə olunur. Ümumiyyətlə iki üsula bölmək olar:əl ilə silmək və silmək.
Əl ilə ovuşdurmaən sadə təmizləmə üsuludur. Paslanmayan polad fırça susuz etanol və ya digər üzvi həlledicilərdə isladılmış topu saxlamaq və mum filmini, tozu, qalıq yapışqan və ya digər bərk hissəcikləri çıxarmaq üçün vaflinin səthini eyni istiqamətdə yumşaq bir şəkildə sürtmək üçün istifadə olunur. Bu üsul asanlıqla cızıqlara və ciddi çirklənməyə səbəb olur.
Silecek vaflinin səthini yumşaq yun fırça və ya qarışıq fırça ilə sürtmək üçün mexaniki fırlanmadan istifadə edir. Bu üsul vafli üzərindəki cızıqları xeyli azaldır. Yüksək təzyiqli silecek mexaniki sürtünmənin olmaması səbəbindən vaflini cızmayacaq və yivdəki çirklənməni aradan qaldıra bilər.
4. Ultrasonik təmizləmə:
Ultrasonik təmizləmə yarımkeçirici sənayesində geniş istifadə edilən təmizləmə üsuludur. Onun üstünlükləri yaxşı təmizləmə effekti, sadə əməliyyatdır, həmçinin mürəkkəb cihazları və qabları təmizləyə bilir.
Bu təmizləmə üsulu güclü ultrasəs dalğalarının təsiri altındadır (ümumiyyətlə istifadə olunan ultrasəs tezliyi 20s40kHz-dir) və maye mühitin içərisində seyrək və sıx hissələr yaranacaq. Seyrək hissə, demək olar ki, vakuum boşluğunda qabarcıq yaradacaq. Boşluq qabarcığı yox olduqda, onun yaxınlığında güclü bir yerli təzyiq yaranacaq və vafli səthindəki çirkləri həll etmək üçün molekullardakı kimyəvi bağları qıracaq. Ultrasonik təmizləmə həll olunmayan və ya həll olunmayan axın qalıqlarını çıxarmaq üçün ən təsirli olur.
5. Meqasonik təmizləmə:
Meqasonik təmizləmə yalnız ultrasəs təmizləmənin üstünlüklərinə malik deyil, həm də çatışmazlıqlarını aradan qaldırır.
Meqasonik təmizləmə yüksək enerjili (850kHz) tezlikli vibrasiya effektini kimyəvi təmizləyici maddələrin kimyəvi reaksiyası ilə birləşdirərək vaflilərin təmizlənməsi üsuludur. Təmizləmə zamanı məhlul molekulları meqasəs dalğası ilə sürətlənir (maksimum ani sürət 30 smVs-ə çata bilər) və yüksək sürətli maye dalğası vaflinin səthinə davamlı olaraq təsir edir, beləliklə çirkləndiricilər və incə hissəciklər səthə yapışır. vafli zorla çıxarılır və təmizləyici məhlulun içinə daxil edilir. Təmizləyici məhlula turşulu səthi aktiv maddələrin əlavə edilməsi, bir tərəfdən səthi aktiv maddələrin adsorbsiya edilməsi yolu ilə cilalama səthindəki hissəciklərin və üzvi maddələrin çıxarılması məqsədinə nail ola bilər; digər tərəfdən, səthi aktiv maddələrin və turşu mühitin inteqrasiyası ilə cilalama təbəqəsinin səthində metal çirklənməsini aradan qaldırmaq məqsədinə nail ola bilər. Bu üsul eyni zamanda mexaniki silmə və kimyəvi təmizləmə rolunu oynaya bilər.
Hazırda meqasonik təmizləmə üsulu cilalama təbəqələrinin təmizlənməsi üçün effektiv üsula çevrilmişdir.
6. Fırlanan püskürtmə üsulu:
Fırlanan püskürtmə üsulu vafli yüksək sürətlə fırlatmaq üçün mexaniki üsullardan istifadə edən və fırlanma prosesi zamanı vaflinin səthinə davamlı olaraq maye (yüksək təmizlikdə deionlaşdırılmış su və ya digər təmizləyici maye) püskürən bir üsuldur. gofretin səthi.
Bu üsul püskürtülmüş mayedə həll etmək üçün vaflinin səthindəki çirklənmədən istifadə edir (və ya həll etmək üçün onunla kimyəvi reaksiya verir) və tərkibində çirkləri olan mayeni vaflinin səthindən ayırmaq üçün yüksək sürətli fırlanmanın mərkəzdənqaçma təsirindən istifadə edir. vaxtında.
Fırlanan püskürtmə üsulu kimyəvi təmizləmə, maye mexanikasının təmizlənməsi və yüksək təzyiqli ovma üstünlüklərinə malikdir. Eyni zamanda, bu üsul qurutma prosesi ilə də birləşdirilə bilər. Deionlaşdırılmış su spreyi ilə bir müddət təmizləndikdən sonra su spreyi dayandırılır və sprey qazı istifadə olunur. Eyni zamanda, vaflinin səthini tez susuzlaşdırmaq üçün mərkəzdənqaçma qüvvəsini artırmaq üçün fırlanma sürəti artırıla bilər.
7.Quru kimyəvi təmizləmə
Quru təmizləmə məhlullardan istifadə etməyən təmizləmə texnologiyasına aiddir.
Hazırda istifadə olunan quru təmizləmə texnologiyalarına aşağıdakılar daxildir: plazma təmizləmə texnologiyası, qaz fazalı təmizləmə texnologiyası, şüa təmizləmə texnologiyası və s.
Quru təmizləmənin üstünlükləri sadə proses və ətraf mühitin çirklənməsinin olmamasıdır, lakin dəyəri yüksəkdir və istifadə sahəsi hələlik böyük deyil.
1. Plazma təmizləmə texnologiyası:
Plazma təmizlənməsi tez-tez fotorezistin çıxarılması prosesində istifadə olunur. Plazma reaksiya sisteminə az miqdarda oksigen daxil olur. Güclü elektrik sahəsinin təsiri altında oksigen plazma əmələ gətirir ki, bu da fotorezisti tez bir zamanda uçucu qaz vəziyyətinə oksidləşdirir və çıxarılır.
Bu təmizləmə texnologiyası asan işləmə, yüksək effektivlik, təmiz səth, cızıqların olmaması üstünlüklərinə malikdir və dequmming prosesində məhsulun keyfiyyətini təmin etmək üçün əlverişlidir. Üstəlik, turşu, qələvi və üzvi həlledicilərdən istifadə etmir, tullantıların utilizasiyası, ətraf mühitin çirklənməsi kimi problem yoxdur. Buna görə də insanlar tərəfindən getdikcə daha çox qiymətləndirilir. Bununla belə, karbon və digər uçucu olmayan metal və ya metal oksidi çirklərini təmizləyə bilməz.
2. Qaz fazasının təmizlənməsi texnologiyası:
Qaz fazasının təmizlənməsi, çirkləri aradan qaldırmaq məqsədinə nail olmaq üçün vaflinin səthindəki çirklənmiş maddə ilə qarşılıqlı əlaqə yaratmaq üçün maye prosesində müvafiq maddənin qaz fazasının ekvivalentindən istifadə edən təmizləmə üsuluna aiddir.
Məsələn, CMOS prosesində vafli təmizləmə oksidləri çıxarmaq üçün qaz fazı HF və su buxarı arasında qarşılıqlı təsirdən istifadə edir. Adətən, tərkibində su olan HF prosesi hissəciklərin çıxarılması prosesi ilə müşayiət olunmalıdır, qaz fazalı HF təmizləmə texnologiyasının istifadəsi isə sonrakı hissəciklərin çıxarılması prosesini tələb etmir.
Sulu HF prosesi ilə müqayisədə ən mühüm üstünlüklər daha az HF kimyəvi istehlakı və daha yüksək təmizləmə səmərəliliyidir.
Dünyanın hər yerindən gələn hər hansı bir müştərini daha çox müzakirə etmək üçün bizi ziyarət etmək üçün xoş gəlmisiniz!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Göndərmə vaxtı: 13 avqust 2024-cü il