Çin İstehsalçısı SiC Kaplamalı Qrafit MOCVD Epitaksi Həssas

Çin İstehsalçı SiC Örtülü Qrafit MOCVD Epitaksi Qəbuledici Xüsusi Şəkil

Qısa təsvir:

Təmizlik < 5ppm
‣ Yaxşı dopinq vahidliyi
‣ Yüksək sıxlıq və yapışma
‣ Yaxşı antikorozif və karbon müqaviməti

‣ Professional fərdiləşdirmə
‣ Qısa çatdırılma müddəti
‣ Sabit təchizat
‣ Keyfiyyətə nəzarət və davamlı təkmilləşdirmə

Sapphire üzərində GaN epitaksiyası(RGB/Mini/Mikro LED);
Si Substratda GaN epitaksiyası(UVC);
Si Substratda GaN epitaksiyası(Elektron Cihaz);
Si substratında Si epitaksiyası(inteqrasiya edilmiş dövrə);
SiC Substrat üzərində SiC epitaksiyası(Substrat);
InP-də InP epitaksisi

Bizə e-poçt göndərin PDF olaraq yükləyin

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Yüksək keyfiyyətli MOCVD Susceptor Çində onlayn alın

Elektron cihazlarda istifadəyə hazır olan vafli bir neçə mərhələdən keçməlidir. Əhəmiyyətli proseslərdən biri silikon epitaksiyadır ki, bu zaman vaflilər qrafit tutucular üzərində aparılır. Susseptorların xassələri və keyfiyyəti vaflinin epitaksial təbəqəsinin keyfiyyətinə həlledici təsir göstərir.

Epitaksiya və ya MOCVD kimi nazik təbəqənin çökmə mərhələləri üçün VET substratları və ya "vafliləri" dəstəkləmək üçün istifadə olunan ultra təmiz qrafit avadanlığı təmin edir. Prosesin əsasını təşkil edən bu avadanlıq, MOCVD üçün epitaksiya həssasları və ya peyk platformaları əvvəlcə çökmə mühitinə məruz qalır:

Yüksək temperatur.
Yüksək vakuum.
Aqressiv qaz prekursorlarının istifadəsi.
Sıfır çirklənmə, soyulmanın olmaması.
Təmizləmə əməliyyatları zamanı güclü turşulara qarşı müqavimət

VET Energy, yarımkeçiricilər və fotovoltaik sənaye üçün üzlüklü qrafit və silisium karbid məhsullarının real istehsalçısıdır. Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat institutlarından gəlir, sizin üçün daha peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.

Biz davamlı olaraq daha qabaqcıl materiallarla təmin etmək üçün qabaqcıl prosesləri inkişaf etdiririk və örtüklə substrat arasındakı əlaqəni daha sıx və qopmağa daha az meylli edə bilən eksklüziv patentləşdirilmiş texnologiya işləyib hazırlamışıq.

Məhsullarımızın xüsusiyyətləri:

1. 1700 ℃-ə qədər yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti.
2. Yüksək təmizlik və istilik vahidliyi
3. Əla korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
4. Yüksək sərtlik, kompakt səth, incə hissəciklər.
5. Daha uzun xidmət müddəti və daha davamlıdır

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-nin əsas fiziki xassələriörtük
性质 / Əmlak	典型数值 / Tipik Dəyər
晶体结构 / Kristal Struktur	FCC β fazası多晶，主要为（111）取向
密度 / Sıxlıq	3,21 q/sm³
硬度 / Sərtlik	2500 维氏硬度（500g yük）
晶粒大小 / Taxıl Ölçüsü	2 ~ 10μm
纯度 / Kimyəvi Saflıq	99.99995%
热容 / İstilik tutumu	640 J·kq^-1·K^-1
升华温度 / Sublimasiya temperaturu	2700 ℃
抗弯强度 / Bükülmə Gücü	415 MPa RT 4 nöqtəli
杨氏模量 / Gəncin Modulu	430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃
导热系数 / ThermalKeçiricilik	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termal Genişlənmə (CTE)	4,5×10^-6K^-1