SiC Wafer-də 4 düym GaN

Qısa təsvir:

VET Energy-nin SiC vafli üzərindəki 4 düymlük GaN enerji elektronikası sahəsində inqilabi məhsuldur. Bu vafli silisium karbidin (SiC) əla istilik keçiriciliyini yüksək güc sıxlığı və qallium nitridin (GaN) aşağı itkisi ilə birləşdirərək onu yüksək tezlikli, yüksək güclü cihazların istehsalı üçün ideal seçim edir. VET Energy qabaqcıl MOCVD epitaksial texnologiyası vasitəsilə vaflinin əla performansını və tutarlılığını təmin edir.


Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

VET Energy-nin məhsul xətti SiC vaflilərində GaN ilə məhdudlaşmır. Biz, həmçinin Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer və s. daxil olmaqla geniş çeşiddə yarımkeçirici substrat materialları təqdim edirik. Bundan əlavə, biz həmçinin Qallium Oksidi Ga2O3 və AlN kimi yeni geniş diapazonlu yarımkeçirici materialları fəal şəkildə inkişaf etdiririk. Wafer, gələcək güc elektronikası sənayesinin daha yüksək performanslı cihazlara olan tələbatını ödəmək üçün.

VET Energy çevik fərdiləşdirmə xidmətləri təqdim edir və müştərilərin xüsusi ehtiyaclarına uyğun olaraq müxtəlif qalınlıqlı GaN epitaksial təbəqələrini, müxtəlif dopinq növlərini və müxtəlif vafli ölçülərini fərdiləşdirə bilər. Bundan əlavə, biz müştərilərə yüksək performanslı elektrik cihazlarını tez bir zamanda inkişaf etdirməyə kömək etmək üçün peşəkar texniki dəstək və satış sonrası xidmət təqdim edirik.

第6页-36
第6页-35

VAFERİNİN XÜSUSİYYƏTLƏRİ

*n-Pm=n-tipli Pm-Qrade,n-Ps=n-tip Ps-Qrade,Sl=Yarım-izolyasiya

Maddə

8-düym

6-düym

4-düym

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤6um

≤6um

Yay(GF3YFCD)-Mütləq Dəyər

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Çarpma (GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR) -10mmx10mm

<2μm

Gofret kənarı

Kəsmə

Səthi bitirmə

*n-Pm=n-tipli Pm-Qrade,n-Ps=n-tip Ps-Qrade,Sl=Yarım-izolyasiya

Maddə

8-düym

6-düym

4-düym

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

Səthi bitirmə

İkitərəfli Optik Cila, Si-Face CMP

Səthi Kobudluq

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm
C-Face Ra≤ 0.5nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-Üz Ra≤0.5nm

Kenar çipləri

İcazə verilmir (uzunluq və en≥0,5 mm)

Girintilər

Heç biri icazə verilmir

Cızıqlar (Si-Face)

Miqdar.≤5,Kumulyativ
Uzunluq≤0,5×vafli diametri

Miqdar.≤5,Kumulyativ
Uzunluq≤0,5×vafli diametri

Miqdar.≤5,Kumulyativ
Uzunluq≤0,5×vafli diametri

Çatlaqlar

Heç biri icazə verilmir

Kənar İstisna

3 mm

texnologiya_1_2_ölçüsü
下载 (2)

  • Əvvəlki:
  • Sonrakı:

  • WhatsApp Onlayn Söhbət!