VET Energy PECVD የመጫኛ ትሪ ለPECVD (ፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት) ሂደት የተነደፈ ትክክለኛ ተሸካሚ ነው። ይህ ከፍተኛ ጥራት ያለው የማስቀመጫ ግራፋይት ትሪ ከከፍተኛ ንፅህና እና ከፍተኛ ጥግግት ግራፋይት ቁሳቁስ የተሰራ ነው። እጅግ በጣም ጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም, የዝገት መቋቋም, የመጠን መረጋጋት እና ሌሎች ባህሪያት አሉት. ለPECVD ሂደት የተረጋጋ ድምጸ ተያያዥ ሞደም መድረክ ማቅረብ እና የፊልም ማስቀመጫውን ተመሳሳይነት እና ጠፍጣፋ ማረጋገጥ ይችላል።
VET ኢነርጂ PECVD የመጫኛ ትሪዎች በሴሚኮንዳክተር, በፎቶቮልታይክ, በ LED እና በሌሎች መስኮች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ. ለምሳሌ፡-
▪ ሴሚኮንዳክተር፡- የPECVD ሂደት ለሴሚኮንዳክተር ቁሶች እንደ ሲሊከን ዋፈር እና ኤፒታክሲያል ዋይፈር።
▪ የፎቶቮልታይክ፡ የPECVD ሂደት ለፀሃይ ሴል ቀጭን ፊልሞች።
▪ LED: የPECVD ሂደት ለ LED ቺፕስ።
የምርት ጥቅሞች
▪የፊልም ጥራት አሻሽል;ወጥ የሆነ የፊልም አቀማመጥ ያረጋግጡ እና የፊልም ጥራትን ያሻሽሉ።
▪የመሳሪያውን ዕድሜ ማራዘም;በጣም ጥሩ የዝገት መቋቋም, የ PECVD መሳሪያዎችን የአገልግሎት ዘመን ያራዝሙ.
▪የምርት ወጪዎችን ይቀንሱ;ከፍተኛ ጥራት ያላቸው የግራፍ ትሪዎች የቆሻሻ መጣኔን ይቀንሳሉ እና የምርት ወጪዎችን ይቀንሳሉ.
የግራፋይት ቁሳቁስ ከSGL፡
የተለመደው መለኪያ: R6510 | |||
መረጃ ጠቋሚ | የሙከራ ደረጃ | ዋጋ | ክፍል |
አማካይ የእህል መጠን | ISO 13320 | 10 | μm |
የጅምላ እፍጋት | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ግ/ሴሜ3 |
ክፍት porosity | DIN66133 | 10 | % |
መካከለኛ ቀዳዳ መጠን | DIN66133 | 1.8 | μm |
መቻል | ዲአይኤን 51935 | 0.06 | ሴሜ²/ሴ |
የሮክዌል ጥንካሬ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
የተወሰነ የኤሌክትሪክ መከላከያ | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
ተለዋዋጭ ጥንካሬ | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
የተጨመቀ ጥንካሬ | DIN 51910 | 130 | MPa |
የወጣቶች ሞጁሎች | ዲአይኤን 51915 | 11.5×10³ | MPa |
የሙቀት መስፋፋት (20-200 ℃) | ዲአይኤን 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
የሙቀት እንቅስቃሴ (20 ℃) | ዲአይኤን 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
በተለይ G12 ትልቅ መጠን ያለው የዋፈር ማቀነባበሪያን በመደገፍ ለከፍተኛ ቅልጥፍና ለፀሃይ ሴል ማምረቻ የተነደፈ ነው። የተመቻቸ የአገልግሎት አቅራቢ ንድፍ የምርት መጠንን በእጅጉ ይጨምራል፣ ይህም ከፍተኛ የምርት መጠን እና ዝቅተኛ የምርት ወጪን ያስችላል።
ንጥል | ዓይነት | ቁጥር ዋፈር ተሸካሚ |
PEVCD Grephite ጀልባ - የ 156 ተከታታይ | 156-13 grephite ጀልባ | 144 |
156-19 grephite ጀልባ | 216 | |
156-21 grephite ጀልባ | 240 | |
156-23 ግራፋይት ጀልባ | 308 | |
PEVCD Grephite ጀልባ - 125 ተከታታይ | 125-15 grephite ጀልባ | 196 |
125-19 grephite ጀልባ | 252 | |
125-21 ግራፋይት ጀልባ | 280 |