ለPECVD ግራፋይት Substrate Wafer ያዥ

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder ለPECVD (ፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት) ሂደት የተነደፈ ትክክለኛ ተሸካሚ ነው። ይህ ከፍተኛ ጥራት ያለው የግራፋይት ንጥረ ነገር መያዣ ከከፍተኛ-ንፅህና ፣ ከፍተኛ-ጥቅጥቅ ባለ ግራፋይት ቁሳቁስ ፣ በጣም ጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም ፣ የዝገት መቋቋም ፣ የመጠን መረጋጋት እና ሌሎች ባህሪያት የተሰራ ነው። ለ PECVD ሂደት የተረጋጋ የድጋፍ መድረክን መስጠት እና የፊልም አቀማመጥ ተመሳሳይነት እና ጠፍጣፋነት ማረጋገጥ ይችላል።

የ VET ኢነርጂ PECVD ሂደት ግራፋይት የድጋፍ ሰንጠረዥ የሚከተሉትን ባህሪዎች አሉት ።

▪ከፍተኛ ንፅህና;በጣም ዝቅተኛ የንጽሕና ይዘት, የፊልም ብክለትን ያስወግዱ, የፊልም ጥራት ያረጋግጡ.

▪ከፍተኛ ውፍረት;ከፍተኛ ጥግግት, ከፍተኛ ሜካኒካዊ ጥንካሬ, ከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ ግፊት PECVD አካባቢ መቋቋም ይችላሉ.

▪ጥሩ የመጠን መረጋጋት;በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ አነስተኛ መጠን ያለው ለውጥ, የሂደቱን መረጋጋት ማረጋገጥ.

▪እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ;የ wafer ከመጠን በላይ ሙቀትን ለመከላከል ሙቀትን በተሳካ ሁኔታ ያስተላልፉ.

▪ጠንካራ የዝገት መቋቋም;በተለያዩ ጎጂ ጋዞች እና ፕላዝማ የአፈር መሸርሸር መቋቋም ይችላል.

▪ብጁ አገልግሎት፡የተለያየ መጠንና ቅርጽ ያላቸው የግራፍ ድጋፍ ሠንጠረዦች እንደ ደንበኛ ፍላጎት ሊበጁ ይችላሉ።

የምርት ጥቅሞች

▪የፊልም ጥራት አሻሽል;ወጥ የሆነ የፊልም አቀማመጥ ያረጋግጡ እና የፊልም ጥራትን ያሻሽሉ።

▪የመሳሪያውን ዕድሜ ማራዘም;በጣም ጥሩ የዝገት መቋቋም, የ PECVD መሳሪያዎችን የአገልግሎት ዘመን ያራዝሙ.

▪የምርት ወጪዎችን ይቀንሱ;ከፍተኛ ጥራት ያላቸው የግራፍ ትሪዎች የቆሻሻ መጣኔን ይቀንሳሉ እና የምርት ወጪዎችን ይቀንሳሉ.