VET Energy PECVD ሂደት ግራፋይት ዋፈር ድጋፍ PECVD (ፕላዝማ የተሻሻለ ኬሚካላዊ ትነት ክምችት) ሂደት የተቀየሰ ዋና ፍጆታ ነው. ይህ ምርት ከፍተኛ-ንጽህና, ከፍተኛ ጥግግት ግራፋይት ቁሳዊ, ግሩም ከፍተኛ ሙቀት የመቋቋም, ዝገት የመቋቋም, ልኬት መረጋጋት እና ሌሎች ባህርያት ጋር, PECVD ሂደት የሚሆን የተረጋጋ ድጋፍ መድረክ ማቅረብ ይችላሉ, የፊልም ማስቀመጫ ወጥነት እና flatness ለማረጋገጥ.
የ VET ኢነርጂ ግራፋይት ዋፈር ድጋፍ "የግራፋይት ድጋፍ" ንድፍ ውጤታማ በሆነ መንገድ ብቻ ሳይሆን የሂደቱን መረጋጋት ለማረጋገጥ በከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ ግፊት በ PECVD አካባቢ ውስጥ የሙቀት መረጋጋትን ይሰጣል ።
VET ኢነርጂ PECVD ሂደት ግራፋይት wafer ድጋፍ የሚከተሉትን ባህሪያት አሉት:
▪ከፍተኛ ንፅህና;በጣም ዝቅተኛ የንጽሕና ይዘት, የፊልም ብክለትን ያስወግዱ, የፊልሙን ጥራት ለማረጋገጥ.
▪ከፍተኛ ውፍረት;ከፍተኛ ጥግግት, ከፍተኛ ሜካኒካዊ ጥንካሬ, ከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ ግፊት PECVD አካባቢ መቋቋም ይችላሉ.
▪ጥሩ የመጠን መረጋጋት;የሂደቱን መረጋጋት ለማረጋገጥ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ አነስተኛ መጠን ያላቸው ለውጦች.
▪እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ;የ wafer ከመጠን በላይ ሙቀትን ለመከላከል ሙቀትን በተሳካ ሁኔታ ያስተላልፉ.
▪ጠንካራ የዝገት መቋቋም;በተለያዩ ጎጂ ጋዞች እና ፕላዝማ የአፈር መሸርሸርን መቋቋም የሚችል.
▪ብጁ አገልግሎት፡የተለያየ መጠንና ቅርጽ ያላቸው የግራፋይት ድጋፍ ሠንጠረዦች እንደ ደንበኛ ፍላጎት ሊበጁ ይችላሉ።
የግራፋይት ቁሳቁስ ከSGL፡
| የተለመደው መለኪያ: R6510 | |||
| መረጃ ጠቋሚ | የሙከራ ደረጃ | ዋጋ | ክፍል |
| አማካይ የእህል መጠን | ISO 13320 | 10 | μm |
| የጅምላ እፍጋት | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ግ/ሴሜ3 |
| ክፍት porosity | DIN66133 | 10 | % |
| መካከለኛ ቀዳዳ መጠን | DIN66133 | 1.8 | μm |
| መቻል | ዲአይኤን 51935 | 0.06 | ሴሜ²/ሴ |
| የሮክዌል ጥንካሬ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| የተወሰነ የኤሌክትሪክ መከላከያ | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| ተለዋዋጭ ጥንካሬ | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| የተጨመቀ ጥንካሬ | DIN 51910 | 130 | MPa |
| የወጣቶች ሞጁሎች | ዲአይኤን 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| የሙቀት መስፋፋት (20-200 ℃) | ዲአይኤን 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| የሙቀት እንቅስቃሴ (20 ℃) | ዲአይኤን 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
በተለይ G12 ትልቅ መጠን ያለው የዋፈር ማቀነባበሪያን በመደገፍ ለከፍተኛ ቅልጥፍና ለፀሃይ ሴል ማምረቻ የተነደፈ ነው። የተመቻቸ የአገልግሎት አቅራቢ ንድፍ የምርት መጠንን በእጅጉ ይጨምራል፣ ይህም ከፍተኛ የምርት መጠን እና ዝቅተኛ የምርት ወጪን ያስችላል።
| ንጥል | ዓይነት | ቁጥር ዋፈር ተሸካሚ |
| PEVCD Grephite ጀልባ - የ 156 ተከታታይ | 156-13 grephite ጀልባ | 144 |
| 156-19 grephite ጀልባ | 216 | |
| 156-21 grephite ጀልባ | 240 | |
| 156-23 ግራፋይት ጀልባ | 308 | |
| PEVCD Grephite ጀልባ - 125 ተከታታይ | 125-15 grephite ጀልባ | 196 |
| 125-19 grephite ጀልባ | 252 | |
| 125-21 ግራፋይት ጀልባ | 280 |
