የPECVD ግራፋይት ጀልባ ተግባር ምንድነው?

ሽፋን ሂደት ምርት ውስጥ መደበኛ ሲሊከን wafers ተሸካሚ ሆኖ, የግራፋይት ጀልባበመዋቅሩ ውስጥ የተወሰነ ክፍተት ያለው ብዙ የጀልባ መጋገሪያዎች ያሉት ሲሆን በሁለቱ ተጓዳኝ የጀልባ ማጠቢያዎች መካከል በጣም ጠባብ ቦታ አለ ፣ እና የሲሊኮን መጋገሪያዎች በባዶ በር በሁለቱም በኩል ይቀመጣሉ።

ግራፋይት ፣ የግራፋይት ጀልባው ቁሳቁስ ጥሩ የመተጣጠፍ ችሎታ እና የሙቀት አማቂ ኃይል ስላለው ፣ የ AC ቮልቴጅ በአዎንታዊ እና አሉታዊ ኤሌክትሮዶች ለመመስረት በሁለት ተጓዳኝ ጀልባዎች መካከል ይተገበራል። በክፍሉ ውስጥ የተወሰነ የአየር ግፊት እና ጋዝ በሚኖርበት ጊዜ በሁለቱ ታንኳዎች መካከል የብርሃን ፍሰት ይከሰታል. የሚያብረቀርቅ ፈሳሹ በቦታ ውስጥ SiH4 እና NH3 ጋዝን መበስበስ፣ሲ እና ኤን ions ይመሰርታል እና ሲንክስ ሞለኪውሎችን ይፈጥራል።የሽፋን አላማውን ለማሳካት በሲሊኮን ዋፈር ላይ ይቀመጣል።

የፀሐይ ሴል አንጸባራቂ ሽፋን ተሸካሚ እንደመሆኑ መጠን የግራፋይት ጀልባ አወቃቀር እና መጠን የሲሊኮን ዋፈርን የመቀየር እና የማምረት ብቃትን በቀጥታ ይነካል ። ከዓመታት የቴክኒክ ምርምር እና ልማት በኋላ ድርጅታችን አሁን የላቀ የማምረቻ መሳሪያዎች፣የበሰሉ የቴክኖሎጂ ዲዛይነሮች እና ልምድ ያላቸው የምርት ባለሙያዎች ያሉት ሲሆን ቁሳቁሶቹ ከውጭ የሚገቡት ጥሬ ዕቃዎች ናቸው። በአሁኑ ጊዜ በኩባንያችን የተሠራው ግራፋይት ጀልባ የከፍተኛ ቅልጥፍና ጥቅሞች አሉት አወቃቀሩ ቀላል እና በግራፋይት ጀልባ መካከል ያለው ርቀት ምክንያታዊ ነው, ይህም የሲሊኮን ዋፈር ሽፋን አንድ አይነት ያደርገዋል, የሲሊኮን ዋፈርን ጥራት ያሻሽላል እና ያደርገዋል. የፀሐይ ኃይል ልወጣ ውጤታማነት ከፍተኛ. ሺጂን ኩባንያ አሁን ገበያው የሚፈልጋቸው ሁሉም ዓይነት ቀለም ያላቸው ጀልባዎች አሉት