በመጀመሪያ ደረጃ, ማወቅ አለብንፒኢሲቪዲ(ፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት)። ፕላዝማ የቁሳቁስ ሞለኪውሎች የሙቀት እንቅስቃሴን ማጠናከር ነው. በመካከላቸው ያለው ግጭት የጋዝ ሞለኪውሎች ion እንዲፈጠሩ ያደርጋል, እና ቁሱ በነፃነት የሚንቀሳቀሱ አዎንታዊ ionዎች, ኤሌክትሮኖች እና እርስ በርስ የሚገናኙ ገለልተኛ ቅንጣቶች ድብልቅ ይሆናሉ.
በሲሊኮን ወለል ላይ ያለው የብርሃን ነጸብራቅ የመጥፋት መጠን ወደ 35% ያህል ከፍተኛ እንደሆነ ይገመታል. የፀረ-ነጸብራቅ ፊልም በባትሪ ሴል አማካኝነት የፀሐይ ብርሃን አጠቃቀምን መጠን በእጅጉ ሊያሻሽል ይችላል, ይህም የፎቶ አመንጪውን የአሁኑን እፍጋት ለመጨመር እና በዚህም የመቀየር ቅልጥፍናን ለማሻሻል ይረዳል. በተመሳሳይ ጊዜ በፊልሙ ውስጥ ያለው ሃይድሮጂን የባትሪውን ሴል ወለል ያልፋል ፣ የኤሚተር መጋጠሚያውን ወለል የመገጣጠም ፍጥነት ይቀንሳል ፣ የጨለማውን ፍሰት ይቀንሳል ፣ ክፍት የወረዳ ቮልቴጅን ይጨምራል እና የፎቶ ኤሌክትሪክ ልወጣን ውጤታማነት ያሻሽላል። በተቃጠለው ሂደት ውስጥ ያለው ከፍተኛ የሙቀት መጠን ቅጽበታዊ ማደንዘዣ አንዳንድ የሲ-ኤች እና ኤንኤች ቦንዶችን ይሰብራል፣ እና ነፃ የሆነው H የባትሪውን ማለፍ የበለጠ ያጠናክራል።
የፎቶቮልታይክ ደረጃ የሲሊኮን ማቴሪያሎች ብዙ ቆሻሻዎችን እና ጉድለቶችን መያዛቸው የማይቀር ስለሆነ በሲሊኮን ውስጥ ያለው አናሳ ተሸካሚ የህይወት ዘመን እና የስርጭት ጊዜ ይቀንሳል, በዚህም ምክንያት የባትሪውን የመለወጥ ብቃት ይቀንሳል. ሸ በሲሊኮን ውስጥ ካሉ ጉድለቶች ወይም ቆሻሻዎች ጋር ምላሽ ሊሰጥ ይችላል, በዚህም በባንድጋፕ ውስጥ ያለውን የኃይል ባንድ ወደ ቫሌንስ ባንድ ወይም ኮንዲሽነር ባንድ ያስተላልፋል.
1. የPECVD መርህ
የ PECVD ስርዓት ተከታታይ ጄነሬተሮችን በመጠቀም ነው።PECVD ግራፋይት ጀልባ እና ከፍተኛ-ድግግሞሽ የፕላዝማ ማነቃቂያዎች. በዝቅተኛ ግፊት እና ከፍ ባለ የሙቀት መጠን ምላሽ ለመስጠት የፕላዝማ ጄነሬተር በቀጥታ በሸፈነው ንጣፍ መሃል ላይ ተጭኗል። ጥቅም ላይ የዋሉት ንቁ ጋዞች silane SiH4 እና ammonia NH3 ናቸው። እነዚህ ጋዞች በሲሊኮን ዋፈር ላይ በተከማቸ የሲሊኮን ናይትራይድ ላይ ይሠራሉ. የሲላንና የአሞኒያ ጥምርታ በመቀየር የተለያዩ የማጣቀሻ ኢንዴክሶችን ማግኘት ይቻላል። በማስቀመጥ ሂደት ውስጥ ከፍተኛ መጠን ያለው የሃይድሮጂን አቶሞች እና የሃይድሮጂን ionዎች ይፈጠራሉ, ይህም የቫፈርን ሃይድሮጂን ማለፊያ በጣም ጥሩ ያደርገዋል. በቫኩም እና በ 480 ዲግሪ ሴልሺየስ የሙቀት መጠን ውስጥ, የሲክስ ኒ ንብርብር በሲሊኮን ቫፈር ላይ በማንጠፍለክ ተሸፍኗል.PECVD ግራፋይት ጀልባ.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
የ Si3N4 ፊልም ቀለም ከውፍረቱ ጋር ይለወጣል. በአጠቃላይ ተስማሚው ውፍረት ከ 75 እስከ 80 nm ሲሆን ይህም ጥቁር ሰማያዊ ይመስላል. የ Si3N4 ፊልም የማጣቀሻ መረጃ ጠቋሚ በ 2.0 እና 2.5 መካከል የተሻለ ነው. አልኮሆል አብዛኛውን ጊዜ የማጣቀሻውን ጠቋሚ ለመለካት ያገለግላል.
እጅግ በጣም ጥሩ የገጽታ ማለፊያ ውጤት፣ ቀልጣፋ የጨረር ጸረ-ነጸብራቅ አፈጻጸም (ውፍረት refractive ኢንዴክስ ማዛመድ)፣ ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ሂደት (በውጤታማ ወጪን በመቀነስ) እና የመነጨው ኤች አየኖች የሲሊኮን ዋፈር ወለልን ያልፋሉ።
3. በሽፋን ዎርክሾፕ ውስጥ የተለመዱ ጉዳዮች
የፊልም ውፍረት:
ለተለያዩ የፊልም ውፍረት የማስቀመጫ ጊዜ የተለየ ነው. የማስቀመጫው ጊዜ እንደ ሽፋኑ ቀለም በትክክል መጨመር ወይም መቀነስ አለበት. ፊልሙ ነጭ ከሆነ, የማስቀመጫ ጊዜ መቀነስ አለበት. ቀይ ከሆነ, በትክክል መጨመር አለበት. እያንዳንዱ የፊልም ጀልባ ሙሉ በሙሉ መረጋገጥ አለበት, እና የተበላሹ ምርቶች ወደ ቀጣዩ ሂደት እንዲገቡ አይፈቀድላቸውም. ለምሳሌ, ሽፋኑ ደካማ ከሆነ, እንደ ቀለም ነጠብጣቦች እና የውሃ ምልክቶች, በጣም የተለመደው የገጽታ ነጭነት, የቀለም ልዩነት እና በምርት መስመር ላይ ነጭ ነጠብጣቦች በጊዜ ውስጥ መምረጥ አለባቸው. የወለል ንጣው በዋነኝነት የሚከሰተው በወፍራም የሲሊኮን ናይትራይድ ፊልም ሲሆን ይህም የፊልም ማስቀመጫ ጊዜን በማስተካከል ማስተካከል ይቻላል; የቀለም ልዩነት ፊልም በዋናነት በጋዝ መንገድ መዘጋት, የኳርትዝ ቱቦ መፍሰስ, ማይክሮዌቭ ውድቀት, ወዘተ. ነጭ ነጠብጣቦች በዋነኛነት የሚከሰቱት በቀድሞው ሂደት ውስጥ በትንንሽ ጥቁር ነጠብጣቦች ነው. አንጸባራቂነትን መቆጣጠር, የማጣቀሻ ኢንዴክስ, ወዘተ, የልዩ ጋዞች ደህንነት, ወዘተ.
በላዩ ላይ ነጭ ነጠብጣቦች:
PECVD በፀሃይ ህዋሶች ውስጥ በአንፃራዊነት አስፈላጊ የሆነ ሂደት እና የአንድ ኩባንያ የፀሐይ ህዋሶችን ውጤታማነት የሚያሳይ አስፈላጊ አመላካች ነው። የPECVD ሂደት በአጠቃላይ ስራ የበዛበት ነው፣ እና እያንዳንዱ የሴሎች ስብስብ ክትትል ሊደረግበት ይገባል። ብዙ የሽፋን ምድጃ ቱቦዎች አሉ, እና እያንዳንዱ ቱቦ በአጠቃላይ በመቶዎች የሚቆጠሩ ሴሎች አሉት (እንደ መሳሪያው ይወሰናል). የሂደቱን መለኪያዎች ከቀየሩ በኋላ የማረጋገጫ ዑደት ረጅም ነው. ሽፋን ቴክኖሎጂ መላው የፎቶቮልታይክ ኢንዱስትሪ ትልቅ ጠቀሜታ የሚሰጠው ቴክኖሎጂ ነው። የሽፋን ቴክኖሎጂን በማሻሻል የሶላር ሴሎችን ውጤታማነት ማሻሻል ይቻላል. ለወደፊት የፀሃይ ሴል ላዩን ቴክኖሎጂ በፀሀይ ህዋሶች የንድፈ ሃሳባዊ ብቃት ላይ እመርታ ሊሆን ይችላል።
የልጥፍ ጊዜ፡- ዲሴምበር-23-2024