የPECVD ግራፋይት ጀልባን እንዴት ማፅዳት እንደሚቻል? VET ኢነርጂ

1. ከማጽዳት በፊት እውቅና መስጠት

1) መቼPECVD ግራፋይት ጀልባ/ ተሸካሚ ከ 100 እስከ 150 ጊዜ በላይ ጥቅም ላይ ይውላል, ኦፕሬተሩ የሽፋን ሁኔታን በጊዜ ውስጥ ማረጋገጥ ያስፈልገዋል. ያልተለመደ ሽፋን ካለ, ማጽዳት እና ማረጋገጥ ያስፈልጋል. በግራፋይት ጀልባ/ተጓጓዥ ውስጥ ያለው የሲሊኮን ዋፈር የተለመደው ሽፋን ሰማያዊ ነው። ዋፋው ሰማያዊ ያልሆኑ፣ ብዙ ቀለሞች ካሉት ወይም በመያዣዎቹ መካከል ያለው የቀለም ልዩነት ትልቅ ከሆነ ይህ ያልተለመደ ሽፋን ነው፣ እና የችግሩ መንስኤ በጊዜ መረጋገጥ አለበት።
2) የሂደቱ ሰራተኞች የሽፋን ሁኔታን ከመረመሩ በኋላPECVD ግራፋይት ጀልባ/ ተሸካሚ, የግራፍ ጀልባው ማጽዳት እንዳለበት እና የካርድ ነጥቡን መቀየር እንዳለበት ይወስናሉ, እና ማጽዳት የሚያስፈልገው የግራፍ ጀልባ / ተሸካሚ ለጽዳት እቃዎች ሰራተኞች ይተላለፋሉ.

 

3) በኋላግራፋይት ጀልባተሸካሚው ተጎድቷል፣ የምርት ሰራተኞቹ በግራፋይት ጀልባ ውስጥ ያሉትን ሁሉንም የሲሊኮን ዋፍሮች አውጥተው ሲዲኤ (የተጨመቀ አየር) በመጠቀም በግራፋይት ጀልባ. ማጠናቀቂያው ከተጠናቀቀ በኋላ, የመሳሪያው ሰራተኞች ለማጽዳት በተወሰነው የኤችኤፍ መፍትሄ በተዘጋጀው የአሲድ ማጠራቀሚያ ውስጥ ያነሳሉ.

 

2. የግራፍ ጀልባ ማጽዳት

15-25% hydrofluoric አሲድ መፍትሄ ሦስት ዙሮች እያንዳንዱ ለ 4-5 ሰአታት, እና በየጊዜው ንጽህና እና የጽዳት ሂደት ውስጥ ናይትሮጅን አረፋ, ግማሽ ሰዓት ያህል ጽዳት መጨመር ይመከራል; ማሳሰቢያ፡- አየርን ለቦረቦረ ጋዝ እንደ ምንጭ በቀጥታ መጠቀም አይመከርም። ከተመረጡ በኋላ ለ 10 ሰአታት ያህል በንጹህ ውሃ ይጠቡ, እና ጀልባው በደንብ መጸዳቱን ያረጋግጡ. ካጸዱ በኋላ እባክዎን የጀልባውን ገጽታ፣ የግራፍ ካርድ ነጥቡን እና የጀልባውን ንጣፍ መጋጠሚያ እና ሌሎች ክፍሎች የሲሊኮን ናይትራይድ ቀሪዎች ካሉ ያረጋግጡ። ከዚያም በሚፈለገው መሰረት ደረቅ.

3. የጽዳት ጥንቃቄዎች

ሀ) ኤችኤፍ አሲድ በጣም የሚበላሽ ንጥረ ነገር ስለሆነ እና የተወሰነ ተለዋዋጭነት ስላለው ለኦፕሬተሮች አደገኛ ነው. ስለዚህ በጽዳት ፖስታ ውስጥ ያሉ ኦፕሬተሮች የደህንነት ጥንቃቄዎችን ማድረግ እና በቁርጠኝነት የሚተዳደሩ መሆን አለባቸው።

ለ) ታንኳውን ለመበተን እና በንጽህና ጊዜ የግራፍ ክፍሉን ብቻ ለማጽዳት ይመከራል, ስለዚህም እያንዳንዱ የመገናኛ ክፍል በደንብ ማጽዳት ይቻላል. በአሁኑ ጊዜ ብዙ የሀገር ውስጥ አምራቾች አጠቃላይ ጽዳትን ይጠቀማሉ, ይህም ምቹ ነው, ነገር ግን ኤችኤፍ አሲድ ለሴራሚክ ክፍሎች የሚበላሽ ስለሆነ, አጠቃላይ ጽዳት የተጓዳኙን ክፍሎች የአገልግሎት ህይወት ያሳጥራል.