የኬሚካል የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ሲቪዲ) ቴክኖሎጂን መረዳት

የኬሚካላዊ ትነት ክምችት (ሲቪዲ) በሲሊኮን ዋፈር ወለል ላይ በጋዝ ድብልቅ ኬሚካላዊ ምላሽ አማካኝነት ጠንካራ ፊልምን የሚያካትት ሂደት ነው። ይህ አሰራር እንደ ግፊት እና ቅድመ ሁኔታ ባሉ የተለያዩ ኬሚካዊ ግብረመልሶች ላይ በተመሰረቱ የተለያዩ መሳሪያዎች ሞዴል ሊከፋፈል ይችላል።

እነዚህ ሁለት መሳሪያዎች ለየትኛው አሰራር ጥቅም ላይ ይውላሉ?የPECVD (ፕላዝማ የተሻሻለ) መሳሪያዎች እንደ ኦክስ፣ ኒትሪድ፣ ሜታልሊክ ኤለመንት በር እና አሞርፎስ ካርቦን ባሉ አተገባበር ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ። በሌላ በኩል, LPCVD (ዝቅተኛ ኃይል) በተለምዶ ለ Nitride, poly, እና TEOS ጥቅም ላይ ይውላል.

መርህ ምንድን ነው?የPECVD ቴክኖሎጂ የፕላዝማ ኢነርጂን እና ሲቪዲን በማጣመር ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ያለው ፕላዝማን በመጠቀም በሂደቱ ክፍል ውስጥ ካቶድ ውስጥ ትኩስ ፈሳሽ እንዲፈጠር ያደርጋል። ይህ ኬሚካላዊ እና ፕላዝማ ኬሚካላዊ ምላሽ በናሙና ወለል ላይ ጠንካራ ፊልም እንዲፈጥር ያስችላል። በተመሳሳይ፣ LPCVD በሪአክተር ውስጥ ያለውን የኬሚካላዊ ምላሽ የጋዝ ግፊትን በመቀነስ ለመስራት አቅዷል።

ሰብአዊነት AIበሲቪዲ ቴክኖሎጂ መስክ Humanize AI መጠቀም የፊልም አቀማመጥ ሂደትን ውጤታማነት እና ትክክለኛነት በእጅጉ ያሳድጋል። የ AI አልጎሪዝምን በመጠቀም እንደ ion parameter ፣ የጋዝ ፍሰት መጠን ፣ የሙቀት መጠን እና የፊልም ውፍረት ያሉ መለኪያዎችን መከታተል እና ማስተካከል ለተሻለ ውጤት ማመቻቸት ይችላል።