የምድጃ ቱቦ መሳሪያው ውስጣዊ አሠራር በዝርዝር ተብራርቷል

ከላይ እንደሚታየው, የተለመደ ነው

የመጀመሪያው አጋማሽ፡-
የማሞቂያ ኤለመንት (የማሞቂያ ጥቅል) : በምድጃው ቱቦ ዙሪያ የሚገኝ ፣ ብዙውን ጊዜ ከተከላካይ ሽቦዎች የተሠራ ፣ የእቶኑን ቱቦ ውስጠኛ ክፍል ለማሞቅ ያገለግላል።
ኳርትዝ ቲዩብ፡ የፍል ኦክሳይድ እቶን እምብርት፣ ከፍተኛ ንፅህና ካለው ኳርትዝ የተሰራ ሲሆን ይህም ከፍተኛ ሙቀትን የሚቋቋም እና በኬሚካል የማይነቃነቅ ነው።
የጋዝ መኖ፡- በምድጃው ቱቦ ላይኛው ወይም በጎን በኩል የሚገኘው ኦክሲጅን ወይም ሌሎች ጋዞችን ወደ እቶን ቱቦ ውስጥ ለማጓጓዝ ያገለግላል።
SS Flange: የኳርትዝ ቱቦዎችን እና የጋዝ መስመሮችን የሚያገናኙ አካላት, የግንኙነቱን ጥብቅነት እና መረጋጋት ያረጋግጣል.
የጋዝ መኖ መስመሮች: ለጋዝ ማስተላለፊያ MFC ከጋዝ አቅርቦት ወደብ ጋር የሚያገናኙ ቱቦዎች.
MFC (Mass Flow Controller)፡- የሚፈለገውን የጋዝ መጠን በትክክል ለመቆጣጠር በኳርትዝ ​​ቱቦ ውስጥ ያለውን የጋዝ ፍሰት የሚቆጣጠር መሳሪያ።
አየር ማናፈሻ፡- የጭስ ማውጫውን ከመጋገሪያ ቱቦ ውስጥ ወደ መሳሪያው ውጫዊ ክፍል ለማስወጣት ያገለግላል።

የታችኛው ክፍል
በመያዣ ውስጥ የሲሊኮን ዋፈርስ፡- በኦክሳይድ ወቅት አንድ አይነት ሙቀትን ለማረጋገጥ የሲሊኮን ዋፍሮች በልዩ መያዣ ውስጥ ይቀመጣሉ።
ዋፈር ያዥ፡ የሲሊኮን ዋፈርን ለመያዝ እና የሲሊኮን ዋፈር በሂደቱ ውስጥ የተረጋጋ መሆኑን ለማረጋገጥ ይጠቅማል።
ፔድስታል፡- የሲሊኮን ዋፈር መያዣን የሚይዝ መዋቅር፣ አብዛኛውን ጊዜ ከፍተኛ ሙቀትን ከሚቋቋም ቁሳቁስ የተሰራ።
አሳንሰር፡ የሲሊኮን ዋይፋሪዎችን በራስ ሰር ለመጫን እና ለማራገፍ የWafer መያዣዎችን ወደ ኳርትዝ ቱቦዎች ለማንሳት ይጠቅማል።
Wafer Transfer Robot: በምድጃ ቱቦ መሳሪያው ጎን ላይ የሚገኝ, የሲሊኮን ቫፈርን ከሳጥኑ ውስጥ በራስ-ሰር በማውጣት ወደ እቶን ቱቦ ውስጥ ለማስቀመጥ ወይም ከተሰራ በኋላ ለማስወገድ ያገለግላል.
የካሴት ማከማቻ ካሮሴል፡ የካሴት ማከማቻ ካሮሴል የሲሊኮን ዋይፋሮችን የያዘ ሳጥን ለማከማቸት የሚያገለግል ሲሆን ለሮቦት መዳረሻ ሊሽከረከር ይችላል።
Wafer Cassette፡ ዋፈር ካሴት የሚቀነባበሩትን የሲሊኮን ዋይፎች ለማከማቸት እና ለማስተላለፍ ይጠቅማል።