የምድጃ ቱቦ መሳሪያው ውስጣዊ አሠራር በዝርዝር ተብራርቷል

ከላይ እንደሚታየው, የተለመደ ነው

የመጀመሪያው አጋማሽ፡-

▪ የማሞቂያ ኤለመንት (የማሞቂያ ጥቅል):

በምድጃው ቱቦ ዙሪያ የሚገኘው ፣ ብዙውን ጊዜ ከተከላካይ ሽቦዎች የተሠራ ፣ የእቶኑን ቱቦ ውስጠኛ ክፍል ለማሞቅ ያገለግላል።

▪ ኳርትዝ ቲዩብ፡-

የሙቅ ኦክሳይድ እቶን እምብርት፣ ከፍተኛ ንፅህና ካለው ኳርትዝ የተሰራ፣ ከፍተኛ ሙቀትን የሚቋቋም እና በኬሚካላዊ የማይነቃነቅ።

▪ የጋዝ መኖ፡

በምድጃ ቱቦው የላይኛው ወይም የጎን ክፍል ላይ, ኦክስጅንን ወይም ሌሎች ጋዞችን ወደ እቶን ቱቦ ውስጥ ለማጓጓዝ ያገለግላል.

▪ ኤስ ኤስ ፍላጅ፡

የኳርትዝ ቱቦዎችን እና የጋዝ መስመሮችን የሚያገናኙ አካላት, የግንኙነቱን ጥብቅነት እና መረጋጋት ያረጋግጣል.

▪ የጋዝ መኖ መስመሮች፡-

ለጋዝ ማስተላለፊያ MFC ከጋዝ አቅርቦት ወደብ ጋር የሚያገናኙ ቱቦዎች.

▪ MFC (የጅምላ ፍሰት መቆጣጠሪያ)፡

የሚፈለገውን የጋዝ መጠን በትክክል ለመቆጣጠር በኳርትዝ ​​ቱቦ ውስጥ ያለውን የጋዝ ፍሰት የሚቆጣጠር መሳሪያ።

▪ ማስተንፈሻ፡-

የጭስ ማውጫውን ከመጋገሪያ ቱቦ ውስጥ ወደ መሳሪያው ውጫዊ ክፍል ለማስወጣት ያገለግላል.

የታችኛው ክፍል:

▪ በመያዣ ውስጥ የሲሊኮን ዋፈርስ፡-

በኦክሳይድ ጊዜ አንድ አይነት ሙቀትን ለማረጋገጥ የሲሊኮን ቫፈርዎች በልዩ መያዣ ውስጥ ይቀመጣሉ.

▪ ዋፈር መያዣ፡-

የሲሊኮን ቫፈርን ለመያዝ እና በሂደቱ ወቅት የሲሊኮን ቫፈር የተረጋጋ መሆኑን ለማረጋገጥ ይጠቅማል.

▪ የእግረኛ መንገድ፡-

ብዙውን ጊዜ ከፍተኛ ሙቀትን በሚቋቋም ቁሳቁስ የተሠራ የሲሊኮን ዋፈር መያዣን የሚይዝ መዋቅር።

▪ ሊፍት፡

የሲሊኮን ዋይፈርን በራስ ሰር ለመጫን እና ለማራገፍ የWafer መያዣዎችን ወደ ኳርትዝ ቱቦዎች ለማንሳት ያገለግላል።

▪ ዋፈር ማስተላለፊያ ሮቦት፡-

በምድጃ ቱቦ መሳሪያው ጎን ላይ የሚገኘው የሲሊኮን ቫፈርን ከሳጥኑ ውስጥ በራስ-ሰር ለማስወገድ እና በምድጃ ቱቦ ውስጥ ለማስቀመጥ ወይም ከተሰራ በኋላ ለማስወገድ ይጠቅማል።

▪ የካሴት ማከማቻ ካሩሰል፡-

የካሴት ማከማቻ ካሮሴል የሲሊኮን ዋይፋሮችን የያዘ ሳጥን ለማከማቸት ያገለግላል እና ለሮቦት መዳረሻ ሊሽከረከር ይችላል።

▪ ዋፈር ካሴት፡-

የዋፈር ካሴት የሲሊኮን ዋፍሎችን ለማከማቸት እና ለማስተላለፍ ጥቅም ላይ ይውላል.